[实用新型]改进的蚀刻机有效
| 申请号： | 202023126849.3 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214937811U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 顾叶锋;王娟;惠倩 | 申请（专利权）人： | 苏州普汇达电子科技有限公司;顾叶锋 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C02F9/08;C02F103/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 蚀刻 | ||
1.改进的蚀刻机，其特征在于：包括机体(1)和净化设备，所述净化设备包括反应桶(2)和传动箱(3)，所述传动箱(3)内部设有化工泵(8)，所述化工泵(8)通过液管分别与机体(1)和反应桶(2)连通，所述反应桶(2)顶端设有反应液注入口(5)，所述反应桶(2)两侧分别设有机箱(4)、冷凝箱(6)和净化箱(7)，所述冷凝箱(6)通过气管与反应桶(2)连通，所述反应桶(2)内部设有搅拌桨(10)和加热器(11)，所述冷凝箱(6)和净化箱(7)通过液管连通，所述净化箱(7)内部设有滤芯(13)和紫外线消毒灯(15)。
2.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机，其特征在于：所述机箱(4)内部设有电机(9)，所述电机(9)通过联轴器与搅拌桨(10)连接，所述搅拌桨(10)上设有漏孔，所述漏孔按纵向分布。
3.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机，其特征在于：所述反应液注入口(5)、反应桶(2)与冷凝箱(6)连接的气管以及冷凝箱(6)和净化箱(7)之间的液管上均设有控制阀门，所述控制阀门为电子阀门，所述电子阀门的型号为2W-320-32-1.2。
4.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机，其特征在于：所述滤芯(13)内部设有活性炭网(14)，所述滤芯(13)嵌套于活性炭网(14)上，所述活性炭网(14)通过螺丝与净化箱(7)的内壁固定。
5.根据权利要求1所述的改进的蚀刻机，其特征在于：所述搅拌桨(10)、加热器(11)和反应桶(2)的内壁上均设有防腐蚀涂料。
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