[实用新型]一种基于聚合物回音壁模式谐振腔的光纤传感器

权利要求书

1.一种基于聚合物回音壁模式谐振腔的光纤传感器，包括光纤，所述光纤包括纤芯与包层；其特征在于，所述光纤具有凹槽；所述凹槽内具有波导、以及聚合物结构的回音壁谐振腔。

2.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于， 所述聚合物结构为聚合物单体经激光聚合加工形成的固化结构。

3.根据权利要求2所述的光纤传感器，其特征在于， 所述聚合物结构为光刻胶固化结构。

4.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于，所述凹槽的底部高度低于纤芯，所述凹槽将纤芯截断为第一纤芯和第二纤芯；所述波导为聚合物结构，波导的两端分别连接第一纤芯和第二纤芯。

5.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于，所述波导为凹槽内纤芯。

6.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于，所述回音壁谐振腔为微盘腔、微环腔、微球腔、微碟腔、或微柱腔。

7.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于， 所述回音壁谐振腔的直径为20 μm-60 μm。

8.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于， 所述波导直径为1 μm-2 μm。

9.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于， 所述波导和回音壁谐振腔之间的间隙为0-2 μm。

10.根据权利要求1所述的光纤传感器，其特征在于， 所述光纤还包括涂覆层。