[实用新型]一种扫描电镜观察样品专用夹具

说明书

本实用新型公开了一种扫描电镜观察样品专用夹具，涉及扫描电镜领域，包括夹具槽、转动结构和底座，夹具槽顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽边缘均布有若干贯穿夹具槽侧壁的螺杆用于夹持样品，螺杆沿夹具槽侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽底部通过转动结构与底座转动连接，底座下部设有卡槽用于固定连接扫描电镜。本实用新型的有益效果为：无需更换扫描电镜即可进行失效分析；减少了失效样件紧固时间，提高了失效样件紧固的成功率，提高检测效率；多角度立体旋转将断口最大程度地正视于镜头，可以更方便地观察断口的偏僻狭小的部位的微观形貌；样件更换方便，固定良好，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低廉，适于大规模推广应用。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜的领域，具体涉及一种扫描电镜观察样品专用夹具。

背景技术

使用扫描电镜进行失效分析时，要求样品尺寸应尽量平整，且需要胶带粘结在样品台上，样品台要通过背面的卡槽卡紧在基座上。然而摆臂和副车架等失效件的外形往往是复杂的、断口不平度也往往较严重，因此无法满足样品的平整要求。因此，对于结构复杂的断口，观察之前要想将断口尽可能地正对于镜头，现有的样品台和基座难以实现。另外，在失效分析时，分析人员将断裂样品粘结在样品台过程中，往往因为胶的没有粘性而脱落污染断口，后续更换胶带也会浪费时间，降低了电镜观察的准确性和效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种扫描电镜观察样品专用夹具，具有结构简单、使用方便、安全可靠的优势，提高检测效率、准确性和便利性。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的：这种扫描电镜观察样品专用夹具，包括夹具槽、转动结构和底座，所述夹具槽顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽边缘均布有若干贯穿该夹具槽侧壁的螺杆用于夹持样品，螺杆沿夹具槽侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽底部通过转动结构与底座转动连接，所述底座下部设有卡槽用于固定连接扫描电镜。

作为进一步的技术方案，所述夹具槽为矩形结构，沿该矩形结构的每一条边均布有三根螺杆。

作为进一步的技术方案，所述夹具槽内均布有若干圆柱状的凸起。

作为进一步的技术方案，所述转动结构为旋转球，所述夹具槽通过旋转球绕底座360°旋转。

作为优选的技术方案，所述夹具槽采用模具钢制成。

本实用新型的有益效果为：

1、可以不用更换扫描电镜其它设备；

2、减少了失效样件紧固时间，提高了失效样件紧固的成功率；

3、减少样件总操作和观察时间，提高检测效率；

4、多角度立体旋转将断口最大程度地正视于镜头，可以更方便地观察断口的偏僻狭小的部位的微观形貌；

5、样件更换方便，固定良好，提高了工作效率，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低廉，适于大规模推广应用。

附图说明

图1为本实用新型的结构立体图。

图2为本实用新型的结构主视图。

图3为夹具槽的结构示意图。

附图标记说明：夹具槽1、凸起1-1、螺杆2、旋转球3、底座4、卡槽5。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型做详细的介绍：