[实用新型]可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体

权利要求书

1.一种可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体，包括箱形电镀槽体（1），在箱形电镀槽体（1）的顶端设置有双口形顶板（3），在箱形电镀槽体（1）中，分别设置有左侧溢流立板（2）和右侧溢流立板（9），在双口形顶板（3）的左口中，设置有左晶圆挂具（4），在双口形顶板（3）的右口中，设置有右晶圆挂具（5），在左侧溢流立板（2）的右侧面上，设置有左阳极板（7），在右侧溢流立板（9）的左侧立面上，设置有右阳极板（21），在左晶圆挂具（4）上设置有第一片晶圆，在右晶圆挂具（5）上设置有第二片晶圆；其特征在于，在左晶圆挂具（4）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有左搅拌桨摆板铰接轴（20），左搅拌桨摆板（19）的下底面中部铰接在左搅拌桨摆板铰接轴（20）上，在右晶圆挂具（5）正下方的箱形电镀槽体（1）的槽底面上，设置有右搅拌桨摆板铰接轴（12），右搅拌桨摆板（13）的下底面中部铰接在右搅拌桨摆板铰接轴（12）上，在左搅拌桨摆板（19）的顶端面右后端，设置有左连杆（18），左连杆（18）的上端与翘翘板摆臂（15）的左端铰接在一起，在右搅拌桨摆板（13）的顶端面左后端，设置有右连杆（14），右连杆（14）的上端与翘翘板摆臂（15）的右端铰接在一起，在翘翘板摆臂（15）的正后方的箱形电镀槽体（1）的后侧板上设置有轴承（16），在轴承（16）中设置有驱动轴（17），驱动轴（17）的前侧端与翘翘板摆臂（15）的中部固定连接在一起，驱动轴（17）的后侧端与驱动电机的输出轴连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种可实现双片晶圆同槽同步镀膜的电镀槽体，其特征在于，在左阳极板（7）与左晶圆挂具（4）之间，设置有左屏蔽板（6），在右阳极板（21）与右晶圆挂具（5）之间，设置有右屏蔽板（11）；在左晶圆挂具（4）上，设置有左阴极接电柱（8），在右晶圆挂具（5）上，设置有右阴极接电柱（10）。