[实用新型]一种薄膜渗透测试的仓体结构及薄膜渗透测试设备有效
申请号: | 202023139029.8 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN215388757U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 姜允中 | 申请(专利权)人: | 济南兰光机电技术有限公司 |
主分类号: | B01D65/10 | 分类号: | B01D65/10 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 250031 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 渗透 测试 结构 设备 | ||
本实用新型提供了一种薄膜渗透测试的仓体结构及薄膜渗透测试设备,所述仓体结构包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体,第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部;第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件,第二仓体的内腔内设置有至少一个测试腔体,第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通;本实用新型通过将传感元件与测试腔体分仓放置,传感元件所在仓设置在测试腔体所在仓的上部或者侧部,可确保传感器及电气件不受冷凝水及泄漏的冷却水的影响,保证了薄膜渗透测试系统的安全。
技术领域
本实用新型涉及薄膜渗透测试技术领域,特别涉及一种薄膜渗透测试的仓体结构及薄膜渗透测试设备。
背景技术
本部分的陈述仅仅是提供了与本实用新型相关的背景技术,并不必然构成现有技术。
在进行薄膜渗透检测时,测试系统需要对整个测试腔进行温度和湿度控制,控温方式基本上是电气控温和水浴控温两种方式,电气控温在低温控制时不可避免的产生冷凝水,水浴控温在产生冷凝水的同时还有冷却水泄漏的隐患,湿度控制时同样存在水泄漏的问题。
发明人发现,这些冷凝水一旦流入到测试的核心部件传感器以及电气件中就会产生致命的影响,损毁传感器及电气件,而现有的薄膜渗透测试系统大都是将传感器和电气件放置在测试腔的下方,存在极大的安全隐患。
实用新型内容
为了解决现有技术的不足,本实用新型提供了一种薄膜渗透测试的仓体结构及薄膜渗透测试设备,通过将传感元件与测试腔体分仓放置,传感元件所在仓设置在测试腔体所在仓的上部或者侧部,可确保传感器及电气件不受冷凝水及泄漏的冷却水的影响,保证了薄膜渗透测试系统的安全。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
本实用新型第一方面提供了一种薄膜渗透测试的仓体结构。
一种薄膜渗透测试的仓体结构,包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体,第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部;
第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件,第二仓体的内腔内设置有至少一个测试腔体,第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通。
作为可能的一些实现方式,第一仓体和/或第二仓体由隔热板围成。
作为可能的一些实现方式,第一仓体和/或第二仓体的侧壁上设有温控模块,温控模块包括用于进行仓体内空间气流循环的至少一台循环风扇。
作为可能的一些实现方式,第一仓体的内腔内设置至少一个与传感元件连接的电气元件。
作为可能的一些实现方式,第一仓体固定在第二仓体的上部或者侧部。
作为可能的一些实现方式,第一仓体与第二仓体的形状和尺寸均相同。
作为可能的一些实现方式,测试腔体所在的内腔侧壁固定有至少一个板件,至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接,腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽;
推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接,推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧,挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。
作为进一步的限定,包括至少两个平行的板件,每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。
作为进一步的限定,包括至少两个平行的板件,每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽,腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。
作为可能的一些实现方式,测试腔体的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通,第一金属管的另一端与传感元件连通,测试腔体的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通,第二金属管的另一端与载气发生装置连通,且金属软管位于测试腔体所在的内腔中。
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