[实用新型]一种测量设备

权利要求书

1.一种测量设备，包括大理石平台(1)、固定在所述大理石平台(1)上的固定支架(2)、安装在所述固定支架(2)上的高度计(3)，其特征在于，还包括水平调节装置(4)、支承在所述水平调节装置(4)上的倾斜调节装置(5)以及固定在所述倾斜调节装置(5)上的治具平板(6)；

所述治具平板(6)位于所述高度计(3)的下方，所述倾斜调节装置(5)用于调节所述治具平板(6)与所述高度计(3)相垂直。

2.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述治具平板(6)的平面度优于所述大理石平台(1)的平面度。

3.根据权利要求2所述的测量设备，其特征在于，所述治具平板(6)的平面度≤1.5μm。

4.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述高度计(3)与所述固定支架(2)可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述水平调节装置(4)包括：

底座(41)、支承在底座(41)上的X向调节滑台(42)和Y向调节滑台(43)以及分别与所述X向调节滑台(42)和Y向调节滑台(43)相连接的X向调节驱动(44)和Y向调节驱动(45)。

6.根据权利要求1所述的测量设备，其特征在于，所述倾斜调节装置(5)包括：支撑部(51)和调节齿轮(52)，调节齿轮(52)用于调节所述支撑部(51)的倾斜度。