[实用新型]一种半导体湿法化学液供给装置

权利要求书

1.一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：包括第一储液桶(1)、第二储液桶(2)、进液管(3)、第一电磁阀(4)、电机(5)、调速装置(6)、转动杆(7)、搅拌叶(8)、抽液管(9)、泵体(10)、导液管(11)、警报器(13)、出液管(14)、第二电磁阀(15)、终端控制器(16)和液位检测器(17)，所述第一储液桶(1)顶端左侧设置有进液管(3)，进液管(3)上设置有第一电磁阀(4)，所述第一储液桶(1)顶端右侧设置有抽液管(9)，第一储液桶(1)左侧设置有电机(5)，电机(5)上设置有调速装置(6)，所述第一储液桶(1)内部设置有转动杆(7)，转动杆(7)上设置有搅拌叶(8)，所述抽液管(9)一端与第一储液桶(1)相通，另一端设置有泵体(10)，所述泵体(10)一侧设置有导液管(11)，导液管(11)与第二储液桶(2)相通，所述第二储液桶(2)顶端设置有警报器(13)，第二储液桶(2)内部底端设置有导流板(12)，第二储液桶(2)内部设置有液位检测器(17)，所述第二储液桶(2)底端设置有出液管(14)，出液管(14)上设置有第二电磁阀(15)，所述第二储液桶(2)右侧设置有终端控制器(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一储液桶(1)与第二储液桶(2)均为不锈钢材质。

3.根据权利要求2所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一储液桶(1)与第二储液桶(2)内壁侧涂有聚四氟乙烯涂层。

4.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一电磁阀(4)与第二电磁阀(15)与终端控制器(16)电性连接，所述液位检测器(17)与警报器(13)和终端控制器(16)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述导流板(12)为锥形设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述转动杆(7)横向设置在第一储液桶(1)内部，所述转动杆(7)与电机(5)相连。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述电机(5)为伺服电机(5)，所述调速装置(6)与终端控制器(16)电性连接。