[实用新型]一种单晶硅片生产的高效除杂装置有效
申请号: | 202023143378.7 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN214346418U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 王初林 | 申请(专利权)人: | 扬州善鸿新能源发展有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;B01D36/02;B01D29/35;B01D29/03;C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人: | 李雯斐 |
地址: | 225000 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 生产 高效 装置 | ||
1.一种单晶硅片生产的高效除杂装置,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)内设有混合反应腔(2),所述混合反应腔(2)的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐(3),且内部设有搅拌器(4),所述搅拌器(4)的顶端穿过所述罐体(1),且与第一驱动电机(5)的输出轴机械连接,所述混合反应腔(2)的底部设有出液管(6),所述出液管(6)内竖直设有分液板(7),所述分液板(7)的两侧与所述罐体(1)内壁之间均固定设有第一滤网(8),所述第一滤网(8)下方固定设有第二滤网(9),所述第二滤网(9)的下方设有过滤筒(10),所述过滤筒(10)的底部固接支撑轴(11)的一端,所述支撑轴(11)的另一端穿过所述罐体(1),且与第二驱动电机(12)的输出轴机械连接,所述罐体(1)底部一侧连接有过滤液出管(13)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置,其特征在于:所述化学试剂滴罐(3)的顶部设有穿过所述罐体(1)的化学试剂进液管(14),且所述罐体(1)的一侧设有主进料口(15)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置,其特征在于:所述出液管(6)上安装有电池阀门。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置,其特征在于:所述罐体(1)的一侧设有检修清理口(16),所述检修清理口(16)上安装有密封门(17)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产的高效除杂装置,其特征在于:所述罐体(1)的底部为倾斜结构,所述过滤液出管(13)上安装有阀门。
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