[实用新型]一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置有效

专利信息
申请号: 202023144448.0 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN213925017U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 刘吉扬;林富城;孟基中;李天煜;陈亮;刘斯丹 申请(专利权)人: 广东超华科技股份有限公司
主分类号: C23C22/77 分类号: C23C22/77;C25D1/04
代理公司: 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 代理人: 罗振国
地址: 514000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 表面 处理机 硅烷 系统 自动 切换 添加 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置;属于5G设备技术领域;其技术要点包括用于表面处理的硅烷槽,硅烷槽分别导通连接有第一、第二进液管和第一、第二出液管;在硅烷槽侧边的第一进液管、第二进液管、第一出液管和第二出液管上分别设置有电磁阀;各电磁阀分别与控制终端连接;在第一出液管和第一进液管自由端之间导通连接有第一硅烷添加单元,在第二出液管和第二进液管自由端之间导通连接有第二硅烷添加单元;所述第一硅烷添加单元和第二硅烷添加单元分别连接有清洗回流单元;本实用新型旨在提供一种结构合理、使用方便且效果良好的用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置;用于表面处理机硅烷系统。

技术领域

本实用新型涉及一种表面处理机硅烷系统的添加装置,更具体地说,尤其涉及一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置。

背景技术

在铜箔制造过程中,生产订单需求产品结构变化,针对不同产品需要不同的硅烷工艺,工艺调整消耗人力、时间较长,管道罐体都需重新清洗,生产效率非常低下。电解铜箔必需经过硅烷添加剂进行处理,生产时因为硅烷段前方是水洗段,常常会将纯水带入硅烷段,导致硅烷浓度被稀释,待浓度不足后会进行硅烷添加,使硅烷浓度恢复到标准值,目前常用的方式为使用在线检测仪或是经由操作人员化验检测浓度。使用在线检测仪虽然准确,但无形中会增加许多成本,例如:在线检测设备与其消耗品、检测设备另行配制的管道、定期校正费用与机台更换等。然而对于人员化验的方式多少会有浓度检测不准确、增加人员负担与取样问题等人为性的误差,降低铜箔表面处理系统的稳定性。

目前管路、槽体清洗技术都为手动人工清洗,利用外接纯水管进行清洗,缺点是成本较高,清洗完成后槽体内可能有留存添加剂,存在二次污染隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足,提供一种结构合理、使用方便且效果良好的用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的:一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置,包括用于表面处理的硅烷槽,所述硅烷槽进液端分别导通连接有第一进液管和第二进液管,在出液端连接有第一出液管和第二出液管;在硅烷槽侧边的第一进液管、第二进液管、第一出液管和第二出液管上分别设置有电磁阀;各电磁阀分别与控制终端连接。

在第一出液管和第一进液管自由端之间导通连接有第一硅烷添加单元,在第二出液管和第二进液管自由端之间导通连接有第二硅烷添加单元,第一硅烷添加单元和第二硅烷添加单元分别连接控制终端;所述第一硅烷添加单元和第二硅烷添加单元分别连接有清洗回流单元,当第一硅烷添加单元和第二硅烷添加单元切换使用前,通过对应清洗回流单元对正在使用的添加单元及硅烷槽进行自动清洗。

上述的一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置中,所述第一硅烷添加单元包括分别与第一进液管和第一出液管导通的第一供料罐,所述第一供料罐进料端通过第一供料管导通连接有第一硅烷配置罐,在第一供料管上设置有第一硅计量泵。

所述第一供料罐出料端侧边的第一进液管上沿物料流动方向依序设置有第一供硅泵和第一硅滤芯过滤器;所述第一硅计量泵和第一供硅泵分别与控制终端电路连接。

上述的一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置中,所述第一供料罐上设置有第一液位传感器,所述第一液位传感器与第一硅计量泵通过信号线连接。

上述的一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置中,所述第一供硅泵和第一硅滤芯过滤器之间的第一进液管上通过第一三通接头导通连接有第一检修应急管,所述第一检修应急管与第一供料罐导通连接;所述第一三通接头两侧的第一进液管以及第一检修应急管上均设置有控制阀。

上述的一种用于表面处理机硅烷系统的自动切换添加装置中,所述第二硅烷添加单元包括分别与第二进液管和第二出液管导通的第二供料罐,所述第二供料罐进料端通过第二供料管导通连接有第二硅烷配置罐,在第二供料管上设置有第二硅计量泵。

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