[实用新型]一种蒸镀机的坩埚遮板机构

权利要求书

1.一种蒸镀机的坩埚遮板机构，包括坩埚(1)、遮板(2)、遮条(8)和防着板(9)，其特征在于：防着板(9)位于蒸镀机内壁的底板上部，防着板(9)与底板设有间隙，防着板(9)上设有坩埚孔和遮板(2)装置孔，所述坩埚(1)位于间隙处且坩埚(1)的开口于坩埚孔套接，坩埚(1)的开口上方设有遮板(2)，所述遮板(2)与坩埚(1)的开口设有间隙，所述遮板(2)上部固定有第一连杆(3)，第一连杆(3)为中空结构，所述第一连杆(3)与第二连杆(4)套接，所述第二连杆(4)通过连接件(5)可拆卸连接轴杆(6)的上部，所述轴杆(6)的下部穿过遮板(2)装置孔连接气动阀门(10)，所述遮条(8)位于远离轴杆(6)的一端，所述遮条(8)固定连接在防着板(9)上。

2.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：第一连杆(3)上设有第一螺丝孔(31)，第二连杆(4)与第一连杆(3)套接的一端设有第二螺丝孔(41)，当第一螺丝孔(31)与第二螺丝孔(41)重合时，通过螺丝锁住，第一连杆(3)与第二连杆(4)连接。

3.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：连接件(5)包括第一连接块(51)和第二连接块(53)，第一连接块(51)和第二连接块(53)以轴杆(6)为中心对称设置，第一连接块(51)靠近轴杆(6)的侧边设有第一凹槽(52)，轴杆(6)靠近第二连接块(53)处设有第二凹槽(61)，第一连接块(51)的侧边设有以轴杆(6)为中心对称的第一连接孔，第二连接块(53)的侧边设有以轴杆(6)为中心对称的第二连接孔，将轴杆(6)置于第一凹槽(52)内，第二连接块(53)置于第二凹槽(61)内，通过螺丝穿过对应的第一连接孔和第二连接孔锁死，该连接件(5)可以上下调节遮板(2)与防着板(9)的相对距离。

4.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：第一凹槽(52)为半圆形，第二凹槽(61)为台阶形，当轴杆(6)与第一连接块(51)和第二连接块(53)连接时，所述第二连接块(53)的底部与第二凹槽(61)的台阶处相接触连接。

5.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：遮板(2)为碗装形状，遮板(2)包括内圆盘(21)和外圆环(22)，内圆盘(21)和外圆环(22)一体成型，内圆盘(21)和外圆环(22)的连接处的角度为130°-170°。

6.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：内圆盘(21)为水平面，内圆盘(21)的直径大于坩埚孔的直径。

7.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：轴杆(6)为磁流体结构或者竖杆结构。

8.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：遮条(8)为90度折角的角钢，角钢的一折边固定安装在防着板(9)上，另一折边垂直于防着板(9)，垂直于防着板(9)折边的高度大于遮板(2)与坩埚孔之间的间隙。

9.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：防着板(9)与底板之间设有多根立柱(7)，立柱(7)作为防着板(9)与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚孔与坩埚(1)的开口位于同一水平面上。

10.如权利要求1所述的蒸镀机的坩埚遮板机构，其特征在于：坩埚(1)、遮板(2)和防着板(9)为不锈钢材质。