[实用新型]一种晶棒研磨夹具

权利要求书

1.一种晶棒研磨夹具，其特征在于，包括：

设有至少两组夹持部的紧固架(1)；

具有定位面(21)的定位架(2)，当全部穿过所述夹持部的晶棒(01)的基准面(02)与所述定位面(21)相抵时，所述夹持部夹紧所穿过的晶棒(01)；

用以支撑所述紧固架(1)以使被夹紧的全部晶棒(01)的基准面(02)朝上放置的支撑架(3)。

2.根据权利要求1所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，任意一组所述夹持部包括：

设于所述紧固架(1)以供单根晶棒(01)穿过的安装孔(11)，所述安装孔(11)的内壁设有固定槽(12)；

具有与所述固定槽(12)相对的活动槽(13)且位于所述安装孔(11)内的夹持块(14)；

穿过所述紧固架(1)且与所述夹持块(14)相固连、用以推动所述夹持块(14)靠近所述固定槽(12)以使所述活动槽(13)与所述固定槽(12)配合夹紧晶棒(01)的顶推螺杆(15)。

3.根据权利要求2所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，任意一组所述夹持部还包括设于所述夹持块(14)与所述紧固架(1)之间并用以引导所述夹持块(14)滑动的导向杆(16)和导向孔。

4.根据权利要求2所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述固定槽(12)与所述活动槽(13)的相对侧均设有缓冲垫。

5.根据权利要求1至4任一项所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述定位架(2)包括垂直固设于所述定位面(21)并用以支撑所述紧固架(1)以使全部晶棒(01)的基准面(02)对齐并使全部晶棒(01)远离基准面(02)一端突出于所述紧固架(1)的侧立板(22)。

6.根据权利要求5所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述侧立板(22)与所述紧固架(1)之间设有相互配合以限定二者位置的限位销(23)和限位孔(17)。

7.根据权利要求1至4任一项所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述支撑架(3)包括承托板(31)，所述承托板(31)依靠磁吸力固定于工作台。

8.根据权利要求7所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述支撑架(3)还包括垂直固设于所述承托板(31)且与所述紧固架(1)相固连的侧支板(32)，所述侧支板(32)与所述紧固架(1)之间设有相互配合以限定二者的定位销(33)和定位孔。

9.根据权利要求1至4任一项所述的晶棒研磨夹具，其特征在于，所述紧固架(1)及所述支撑架(3)均设有把手(4)。