[实用新型]用于对部件承载件进行检查的装置及设备

权利要求书

1.一种用于对部件承载件进行检查的装置，其特征在于，所述装置(100)包括：

电磁辐射源(110)，所述电磁辐射源用于沿着轨迹(T1)发射第一电磁辐射束(111)；

样品保持件(120)，所述样品保持件用于保持待检查的所述部件承载件(101)，

其中，所述部件承载件(101)包括至少一个通孔(102)，以及

其中，所述样品保持件(120)被配置成将所述部件承载件(101)保持到位，使得所述第一电磁辐射束(111)的所述轨迹(T1)穿过所述至少一个通孔(102)；

光学元件(130)，所述光学元件被布置成在所述第一电磁辐射束(111)穿过所述至少一个通孔(102)之后接收所述第一电磁辐射束，并且所述光学元件被配置成使所述第一电磁辐射束(111)的至少一个物理参数改变以提供第二电磁辐射束(112)；以及

电磁辐射检测器(140)，所述电磁辐射检测器用于接收所述第二电磁辐射束(112)。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述电磁辐射源(110)包括光源。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述电磁辐射检测器(140)包括相机。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述光学元件(130)被配置成使所述第一电磁辐射束(111)的焦距改变，使得所述第二电磁辐射束(112)的焦距与所述第一电磁辐射束(111)的焦距不同。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述光学元件(130)被配置成使所述第一电磁辐射束(111)的所述轨迹(T1)改变，使得所述第一电磁辐射束(111)的所述轨迹(T1)与所述第二电磁辐射束(112)的另一轨迹(T2)不同。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述光学元件(130)包括反射镜，所述反射镜定向为相对于所述第一电磁辐射束(111)的所述轨迹(T1)成介于30°与60°之间的角度。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述电磁辐射检测器(140)以相对于所述第一电磁辐射束(111)的所述轨迹(T1)偏移的方式布置，其中，所述偏移为相对于与所述轨迹(T1)平行的轴线成介于30°与90°之间的偏移。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述部件承载件(101)是具有1.5mm的厚度或更大厚度的厚板。

9.一种用于对部件承载件进行检查的设备，其特征在于，所述设备(150)包括：

根据权利要求1所述的装置(100)；以及

布置在所述样品保持件(120)中的所述部件承载件(101)，其中，所述部件承载件(101)包括多个通孔(102)。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，

所述多个通孔(102)形成识别区域。