[实用新型]一种改进的氮氧传感器芯片

权利要求书

1.一种改进的氮氧传感器芯片，其特征在于，包括：圆片形状的陶瓷芯片基体,陶瓷芯片基体包括层叠烧结而成的N层氧化锆基片,N≧5；第一层氧化锆基片的上表面设置有公共外电极,公共外电极包覆第一多孔氧化铝保护层,第二层氧化锆基片上依次设置进气口、第一泵氧腔室，第二泵氧腔室，进气口和第一泵氧腔室之间、第一泵氧腔室和第二泵氧腔室通过圆弧状的通道连接；

第三层氧化锆基片底部印制有参比电极，参比电极包覆第二多孔氧化铝保护层，第三层氧化锆基片开设与外界相通的参比通道，参比电极与外界大气接触，第四层氧化锆基片底部印制有环形加热电极，环形加热电极包覆绝缘致密氧化铝保护层，环形加热电极的形状和陶瓷芯片基体的形状一致。

2.根据权利要求1所述的改进的氮氧传感器芯片，其特征在于，第二层氧化锆基片上设置有圆弧状的第一扩散障,第一扩散障的首端设置有进气口,第一扩散障的尾端连接至第一泵氧腔室,第一泵氧腔室内印制第一铂电极,第一泵氧腔室的另一端连接圆弧状的第二扩散障的首端,第二扩散障的尾端连接至第二泵氧腔室,第二泵氧腔室内印制第一铂电极和测量铂电极。

3.根据权利要求2所述的改进的氮氧传感器芯片，其特征在于，第一扩散障为多孔氧化铝材质。

4.根据权利要求1所述的改进的氮氧传感器芯片，其特征在于，N＝5。