[实用新型]一种真空镀膜多段式可调节布气系统有效
| 申请号： | 202023155589.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214060632U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张杰;杨海涛;张好勇;周井飞;白云珠;周家春;袁俊;张永林 | 申请（专利权）人： | 云南省玉溪市太标太阳能设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/18 |
| 代理公司： | 曲靖科岚专利代理事务所(特殊普通合伙) 53202 | 代理人： | 李继琼 |
| 地址： | 653100 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 段式 调节 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜多段式可调节布气系统，包括布气管道和供气装置，布气管道上设有若干出气孔，其特征在于：布气管道多个位置被截断分成若干段，通过连接套固定在一起，布气管道被分成若干段相对封闭的区域；供气装置并联设有多根分气管，中间一根分气管接入到最接近的布气管道，其他分气管向前延长接入到每段布气管道上的中间位置且互相连通；每根分气管上设有精密针阀。
2.如权利要求1所述真空镀膜多段式可调节布气系统，其特征在于：所述分气管位于精密针阀后面设有锁母组件，锁母组件从左往右依次由转接套、硅胶密封圈、密封圈压紧环和螺母构成。
3.如权利要求1或2所述真空镀膜多段式可调节布气系统，其特征在于：所述布气管道均匀分成多段，布气管道的出气孔通过布气钉封堵。
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