[实用新型]一种金刚线切割镂空板

说明书

本实用新型公开了一种金刚线切割镂空板，包括镂空板本体，所述镂空板本体内设置有沿着所述镂空板本体长度方向平行排列的若干条镂空腔；若干条所述镂空腔中至少一条镂空腔为横向截面上呈椭圆形的第一镂空腔。本实用新型的结构改进保证了镂空板的切割的承载力，达到降本增效的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种晶棒加工设备，特别涉及一种金刚线切割镂空板。

背景技术

在目前测成本结构中，其中线液成本所占比例逐步下降，传统的控制降低线液成本的边际效应凸显，效果越来越弱，而辅料占成本比例逐渐上升，尤其是单晶硅片，研究金刚线在LC专机机上单晶硅片切割加工过程中的切削形态，发现切割对于良率的影响巨大，良率在很大程度上影响了成本，为了解决切割良率的问题，现有技术通常采用镂空切割板，在切割板中增加方形空腔形成镂空板，采用镂空结构使得材料成本下降30％以上，镂空结构也利于硅粉、胶粉、板粉的排泄，利于低温脱胶，提高硅片的优品率，从而有效提高生产效率，但是现有的镂空板采用方形空腔容易使得金刚线在切割的时候卡线，影响了切割效率。

实用新型内容

实用新型目的：为了解决现有技术的问题，本实用新型提供了金刚线切割镂空板，解决了金刚线切割过程中卡线的问题，提高了切割效率，且降低了金刚线的磨损率。

技术方案：本实用新型所述的金刚线切割镂空板，包括镂空板本体，所述镂空板本体内设置有沿着所述镂空板本体长度方向平行排列的若干条镂空腔；若干条所述镂空腔中至少一条镂空腔为横向截面上呈椭圆形的第一镂空腔。

优选地，当镂空板本体上分布有一条第一镂空腔时，该第一镂空腔分部于镂空板本体的侧边。

本实用新型的一种优选结构为所述镂空板本体至少设置有两条所述第一镂空腔，两条所述第一镂空腔分布于所述镂空板本体的两侧。

本实用新型的一种优选结构为所述镂空板本体设置有多条所述第一镂空腔，多条所述第一镂空腔自所述镂空板本体两侧向着纵向中心线的方向分布，多条所述第一镂空腔对称分布于纵向中心线两侧。

本实用新型的一种优选结构为所述镂空板本体分布有多层镂空腔，多层所述镂空腔的两侧边为第一镂空腔。

本实用新型的一种优选结构为所述镂空板本体内设置有沿着所述镂空板本体长度方向平行均匀排列的若干条第一镂空腔，若干条第一镂空腔呈层状排列且若干条所述第一镂空腔的长轴分布于所述镂空板本体的横向中心线。

本实用新型的一种优选结构为所述第一镂空腔的高度占所述镂空板本体高度的二分之一至三分之二。

本实用新型的一种优选结构为所述第一镂空腔的椭圆形截面的长轴的长度为7-9mm，短轴的长度为5-6.5mm。

有益效果：(1)本实用新型通过采用镂空结构，降低材料成本，镂空结构也利于硅粉、胶粉、板粉的排泄，利于低温脱胶，提高硅片的优品率，从而有效提高生产效率；且本实用新型在镂空结构的基础上，采用了截面呈椭圆形的镂空腔，可以在满足承载力的基础上，最大程度降低材料成本；(2)本实用新型在镂空板两侧采用截面呈椭圆形的腔体，可以降低卡线几率；(3)本实用新型的镂空板均采用截面呈椭圆形结构的腔体时，材料成本降低至30％以上；(4)本实用新型的镂空腔的选择使得金刚线硅棒切割过程中，减少了杂质粘附金刚线以及减小金刚线的磨损几率。

附图说明

图1为本实用新型镂空板的结构示意图；

图2为本实用新型镂空板的结构示意图；

图3为本实用新型镂空板的结构示意图；

图4为本实用新型镂空板具体应用时的横截面结构示意图；

图5为本实用新型镂空板具体应用时的立体结构示意图；

图6为本实用新型镂空板具体应用时的俯视图；