[实用新型]一种沉积炉过滤系统装置

权利要求书

1.一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，其分为若干层，由若干个不同尺寸的圆柱体过滤网以套娃的形式一层一层放置在一过滤罐内，所述过滤罐底部为进气口，进气经每个圆柱体过滤网过滤后通过所述过滤罐上部设有的抽气口由真空泵抽出；所述圆柱体过滤网有4个，从里到外分为4层结构，依次为第一层、第二层、第三层和第四层。

2.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述每个圆柱体过滤网的顶部和左右间隔在100-200mm之间，底部齐平贴合在所述过滤罐底部。

3.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第一、第二和第三层圆柱体过滤网顶部和底部都设置有防倾倒保护环，分别伸出对应的所述圆柱体过滤网壁50-100mm。

4.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第一层圆柱体过滤网直径尺寸250mm-350mm，高度尺寸700mm-800mm,顶部和侧面包裹12目数的纱网，侧面开有6道80mm*80mm的过滤窗口。

5.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第二层圆柱体过滤网直径尺寸400mm-500mm，高度尺寸800mm-900mm,顶部和侧面包裹20目数的纱网，侧面开有4道100mm*100mm的过滤窗口。

6.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第三层圆柱体过滤网直径尺寸600mm-700mm，高度尺寸900mm-1000mm，顶部和侧面包裹20目数的纱网，侧面开有4道100mm*100mm的过滤窗口。

7.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第四层圆柱体过滤网，直径尺寸600mm-700mm，高度尺寸900mm-1000mm,顶部和侧面包裹30目数的纱网。

8.根据权利要求4-7中任一项所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述过滤窗口为方形。