[实用新型]生长亚微米级金刚石薄膜的提升旋转装置

权利要求书

1.一种生长亚微米级金刚石薄膜的提升旋转装置，其特征是：包括支架、升降转轴、升降机构和旋转机构，升降机构和旋转机构均设置在支架上，升降转轴连接在升降机构上并与旋转机构连接，升降转轴的顶端连接有垫盘；

所述升降机构包括升降电机、升降主动齿轮、升降被动齿轮和螺杆，升降电机固定安装在所述支架上，升降主动齿轮安装在升降电机的转轴上，升降被动齿轮与升降主动齿轮啮合并通过升降轴承座安装在支架上，螺杆与升降被动齿轮通过螺纹连接；

所述旋转机构包括旋转电机、旋转主动齿轮和旋转被动齿轮，旋转电机固定安装在所述支架上，旋转主动齿轮安装在旋转电机的转轴上，旋转被动齿轮与旋转主动齿轮啮合并通过旋转轴承座安装在支架上，旋转被动齿轮通过滑键连接在所述升降转轴上。