[实用新型]一种光刻胶颗粒度测试装置

权利要求书

1.一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，包括：

高位槽，与光刻胶生产线连接用于存储待测光刻胶；

颗粒仪，用于测量待测光刻胶的颗粒度；

所述高位槽底部设有与所述光刻胶生产线管路连接的进料口；

所述高位槽的侧下方设有与颗粒仪进料管路连接的出料口；

所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。

2.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述高位槽的顶部还有用于输入氮气的进气口。

3.如权利要求1或2所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述高位槽的侧上方设有溢流口，所述溢流口的位置高于所述出料口的位置。

4.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述溢流口经溢流管路连接有用于回收溢出待测光刻胶的储罐。

5.如权利要求2所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述进气口连接有用于向所述高位槽内部输送氮气的进气装置。

6.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述流量计的出口端还设有用于回收经过测试待测光刻胶的去废液罐。

7.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述颗粒仪的进口端还设有用于清洗所述光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置。

8.如权利要求7所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述清洗装置包括：清洗液储罐、与清洗液储罐连接的清洗泵、以及与所述清洗泵连接的过滤器，所述过滤器连接有清洗液回流管路和用于冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路，所述清洗液回流管路连接所述清洗液储罐，所述冲洗管路连接进样管路。

9.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述过滤器的出口管路上设有储液罐阀门，以控制所述清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。

10.如权利要求8所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，

所述冲洗管路上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。