[实用新型]分区域恒负压真空系统

权利要求书

1.分区域恒负压真空系统，包括顶面设有透气支撑平台（3.1）的密封腔体（3），密封腔体（3）与其上设有的覆盖薄膜（1）构成负压真空吸附腔；其特征在于，所述密封腔体（3）内设有多个腔体隔板（12），多个腔体隔板（12）将负压真空吸附腔分隔成多个子负压真空吸附腔（100），每个子负压真空吸附腔（100）的上方均正对覆盖薄膜（1），且每个子负压真空吸附腔（100）均分别与真空负压泵（4）的抽气管连通；所述真空负压泵（4）的驱动电机与变频控制器（5）相连，所述变频控制器（5）与所述控制器（6）相连；

每个子负压真空吸附腔（100）内均还设有一个负压传感器（8），每个所述负压传感器（8）均与控制器（6）电连接。

2.根据权利要求1所述的分区域恒负压真空系统，其特征在于，所述真空负压泵（4）的抽气管连通一真空管道（13），所述真空管道（13）上设有多个开口（13.1），每个开口（13.1）与一个子负压真空吸附腔（100）相对应连通，每个开口（13.1）上盖合有一盖板（10），每个盖板（10）与一个启闭气缸（9）固定，每个盖板（10）均通过与其相对应启闭气缸（9）实现与之相对应开口（13.1）盖合或打开；其中，每个所述启闭气缸（9）均与控制器（6）电连接。

3.根据权利要求2所述的分区域恒负压真空系统，其特征在于，每个所述启闭气缸（9）均通过安装支架（11）固定安装在与之相对应的腔体隔板（12）上或密封腔体（3）内壁上。

4.根据权利要求1所述的分区域恒负压真空系统，其特征在于，每个所述腔体隔板（12）均与密封腔体（3）内壁密封固定连接。