[实用新型]硅棒切磨一体机有效
申请号: | 202023185592.9 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN214982281U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 曹奇峰;卢建伟;潘雪明;钱春军 | 申请(专利权)人: | 上海日进机床有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;B24B37/11;B24B9/06 |
代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
地址: | 201601 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅棒切磨 一体机 | ||
1.一种硅棒切磨一体机,其特征在于,包括:
机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台包括切割区位和研磨区位;
切割装置,包括:切割单元和调距单元;所述切割单元包括两条正交的切割线锯,所述两条正交的切割线锯用于对所述切割区位处待切割硅棒进行切割以形成两个正交的侧面;所述调距单元用于调整所述切割单元中两条正交的切割线锯的切割位置;
研磨装置,用于对所述研磨区位处的已切割硅棒进行磨面及倒角;以及
硅棒转换装置,设于所述硅棒加工平台上,用于将所述硅棒在切割区位和研磨区位之间进行转换。
2.根据权利要求1所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述切割装置包括:
第一切割装置,包括:第一切割单元和第一调距单元,所述第一切割单元包括两条正交的第一切割线锯,所述两条正交的第一切割线锯用于对第一切割区位处待切割硅棒进行第一折面切割以形成两个正交的侧面;所述第一调距单元用于调整所述第一切割单元的位置;以及
第二切割装置,包括:第二切割单元和第二调距单元,所述第二切割单元包括两条正交的第二切割线锯,所述两条正交的第二切割线锯用于对第二切割区位处待切割硅棒进行第二折面切割以形成两个正交的侧面,获得截面呈类矩形的已切割硅棒;所述第二调距单元用于调整所述第二切割单元的位置。
3.根据权利要求2所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述第一切割单元包括:第一线架、设于所述第一线架上的多个第一切割轮和第一过渡轮、以及第一切割线,所述第一切割线绕于所述多个第一切割轮及第一过渡轮以形成两条正交的第一切割线锯;所述第一调距单元包括第一线架调整机构,所述第一线架调整机构用于调整所述第一线架及其上的多个第一切割轮和第一过渡轮的位置;所述第二切割单元包括:第二线架、设于所述第二线架上的多个第二切割轮和第二过渡轮、以及第二切割线,所述第二切割线绕于所述多个第二切割轮及第二过渡轮以形成两条正交的第二切割线锯;所述第二调距单元包括第二线架调整机构,所述第二线架调整机构用于调整所述第二线架及其上的多个第二切割轮和第二过渡轮的位置。
4.根据权利要求3所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述第一切割轮具有至少两个切割线槽,所述第一调距单元还包括第一校准机构,所述第一校准机构用于驱动所述第一过渡轮移动,以使所述第一过渡轮中经第一切割线绕设的当前导线槽从对应于所述第一切割轮的第一切割线槽调整至对应于所述第一切割轮的第二切割线槽;所述第二切割轮具有至少两个切割线槽,所述第二调距单元还包括第二校准机构,所述第二校准机构用于驱动所述第二过渡轮移动,以使所述第二过渡轮中经第二切割线绕设的当前导线槽从对应于所述第二切割轮的第一切割线槽调整至对应于所述第二切割轮的第二切割线槽。
5.根据权利要求3所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述第一切割装置还包括第一收放线单元,所述第二切割装置还包括第二收放线单元。
6.根据权利要求3所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述第一切割线绕于所述多个第一切割轮及第一过渡轮以形成首尾相接的第一闭环切割线,所述第二切割线绕于所述多个第二切割轮及第二过渡轮以形成首尾相接的第二闭环切割线。
7.根据权利要求2所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,所述第一切割单元中对所述待切割硅棒进行第一折面切割时两条正交的第一切割线锯的交点位于所述待切割硅棒的截面内,所述第二切割单元中对所述待切割硅棒进行第二折面切割时两条正交的第二切割线锯的交点位于所述待切割硅棒的截面内。
8.根据权利要求2所述的硅棒切磨一体机,其特征在于,还包括:第一边皮卸料装置,用于将所述第一切割装置进行第一折面切割后产生的边皮予以卸载;第二边皮卸料装置,用于将所述第二切割装置进行第二折面切割后产生的边皮予以卸载。
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