[实用新型]一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机

权利要求书

1.一种光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，包括机台(1)、推板(4)和驱动机构；

所述机台(1)上设有用于容纳晶圆放置板(2)的容纳槽(101)，所述容纳槽(101)的底面中部设有过孔(8)，所述容纳槽(101)的底面上还凸设有环绕过孔(8)的第一密封圈(11)和第二密封圈(12)；所述第一密封圈(11)位于第二密封圈(12)的内侧，且两者之间形成环形槽(102)，所述环形槽(102)内设有吸气孔；

所述推板(4)上设有推动部，所述晶圆放置板(2)上设有连接块(7)，所述连接块(7)可相对所述晶圆放置板(2)拆卸；

其中，所述驱动机构用于驱动所述推板(4)运动，所述推板(4)用于受驱动通过所述推动部经由所述过孔(8)推动所述连接块(7)，以带动所述晶圆放置板(2)伸出或缩入所述容纳槽(101)。

2.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述连接块(7)通过螺丝与所述晶圆放置板(2)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述晶圆放置板(2)的背离晶圆放置面的一侧设有用于容纳所述连接块(7)的安装槽(21)，所述安装槽(21)的底面上设有供所述螺丝拧入的螺丝孔。

4.根据权利要求3所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述连接块(7)上设有供螺丝穿过的螺丝过孔(71)，所述螺丝过孔(71)的背离所述安装槽(21)底面的一侧具有沉头槽。

5.根据权利要求2或3所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述推动部包括顶杆(5)，以通过顶杆(5)推动所述连接块(7)。

6.根据权利要求5所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述顶杆(5)的数量为两个以上，且沿所述推板(4)的周向均匀分布；

其中，连接块(7)的数量与顶杆(5)的数量相等、且一一对应。

7.根据权利要求5所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述连接块(7)上设有供顶杆(5)插入的定位槽(72)。

8.根据权利要求7所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述定位槽(72)呈半球形，所述顶杆(5)的顶端呈与所述定位槽(72)的形状相一致的半球形。

9.根据权利要求1至3、6至8中任一项所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于，

所述驱动机构包括驱动缸(6)，以通过所述驱动缸(6)驱动所述推板(4)运动。

10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的光刻机晶圆放置板更换机构。