[实用新型]一种基于网状均压槽式气动圆度测量装置

说明书

本实用新型公开一种基于网状均压槽式气动圆度测量装置，属于精密设备技术领域。本实用新型所述装置包括所述测量装置包括进气孔、压力腔、节流小孔、均压槽，测量装置顶部设有进气孔，测量装置侧壁上设有9个节流小孔，3个一排均匀分布，进气孔与节流小孔连通；节流小孔周围设有压力腔，压力腔为半圆形凹槽结构，相邻两个进气孔之间通过均压槽相互连通。本实用新型所述测量装置较以前的测量装置在表面增加了均压槽和压力腔，能够更加稳定的形成气模，提高测量的准确性。

技术领域

本实用新型公开一种基于网状均压槽式气动圆度测量装置，属于精密设备技术领域。

背景技术

空气静压轴承适用于精密、轻载、高速的场合。有下列优点：气体的黏度极小，摩擦力很小，适宜于高速下工作；工作时，气体阻力可忽略不计，支承力产生热量很少，又被流体带走，加上气体膨胀时，有冷却效应，因而，空气静压导轨具有冷态工作的特点，几乎不产生热变形，这对精密机械有重要意义；空气物理性能稳定，可以直接排人大气，不污染环境，不腐蚀光学和电气元件，不必回收；圆度是表示零件上圆的要素实际形状，与其中心保持等距的情况；即通常所说的圆整程度；圆度是限制实际圆对理想圆变动量的一项指标，其公差带是以公差值t为半径差的两同心圆之间的区域。圆度公差属于形状公差，圆度误差值不大于相应的公差值，则认为合格。圆度测量主要方法有回转轴法、三点法、两点法、投影法、坐标法、利用数据采集仪连接百分表法等。在以往带单一均压槽的圆度测量装置测量时往往由于气膜的稳定性差，导致测量值的不准确或者准确性低，而本实用新型带有环型的均压槽能够减小测量装置自身的微振动，提高气膜的稳定性，从而实现提高测量的准确性。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种基于网状均压槽式气动圆度测量装置，用于解决某些场合无法测量元件的圆度问题；所述测量装置包括进气孔1、压力腔2、节流小孔3、均压槽4，测量装置顶部设有进气孔1，测量装置侧壁上设有9个节流小孔3，3个一排均匀分布，进气孔1与节流小孔3连通；节流小孔3周围设有压力腔2，压力腔2为半圆形凹槽结构，相邻两个进气孔1之间通过均压槽4相互连通。

优选的，本实用新型所述进气孔1为圆柱体结构，高度为45～55mm，底面圆外直径为25～35mm，进气孔1气孔内部直径为0.1～0.3mm。

优选的，本实用新型所述测量装置的底部设有倒角5，倒角5的倾斜角度为55～65°。

优选的，本实用新型所述均压槽4为矩形凹槽，高度0.1～0.3mm；宽度0.1～0.3mm。

优选的，本实用新型节流小孔3的直径为0.1～0.3mm。

优选的，本实用新型压力腔2的直径为2～4mm。

为了提高测量的准确性，在圆形元件内放入测量装置后，应该等待气模稳定后，再通过压力检测装置读取数据，从而保证测量的准确性，该装置可以通过移动测量不同位置的圆度。

本实用新型的工作原理：将测量装置放入待测元件的圆孔内，打开气缸向进气孔1通气，气体通过测量装置内的气体通道流向节流小孔3，从9个节流小孔3出来后，气体会在待测元件的圆表面形成气膜，通过均压槽4减小进气孔1自身的微振动，提高气膜的稳定性，待气膜稳定后，使用压力检测装置读出9个节流小孔3周围的压力值，进气孔1节流小孔3的压力值大说明节流小孔3对应的元件的这个位置加工表面高，进气孔1节流小孔3的压力值小说明节流小孔3对应的元件的这个位置加工表面低，从而确定待测元件的圆度。

本实用新型专利的有益效果：

(1)本实用新型通过测量装置的气膜压力值大小测量待测件的圆度，可以解决某些复杂的环境，比如不能通过电等测量的环境。

(2)本实用新型采用的气体是清洁能源，无成本，数量多，采用气体来测量能够一定程度上减小污染，降低成本。