[实用新型]测宽设备

权利要求书

1.一种测宽设备，用于测量物体的相互平行的第一表面和第二表面之间的宽度，其特征在于，它包括测厚装置和矫偏装置，所述测厚装置对应有第一测量面，所述第一测量面与所述第一表面的相交线为第一交线，所述第一测量面与所述第二表面的相交线为第二交线，所述测厚装置用于测量所述第一交线与所述第二交线的距离；所述矫偏装置对应有所述第一测量面、第二测量面，所述第二测量面平行于所述第一测量面，所述第二测量面与所述第一表面的相交线为第三交线，所述矫偏装置用于测量所述第一交线在所述第二测量面的投影线与所述第三交线的距离。

2.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述测厚装置包括第一相位波测距单元和第二相位波测距单元，所述第一相位波测距单元的测量波通路所在的平面、所述第二相位波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第一测量面共面设置。

3.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述矫偏装置包括第一相位波测距单元和第三相位波测距单元，所述第一相位波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第一测量面共面设置，所述第三相位波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第二测量面共面设置。

4.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述测厚装置包括第一相位波测距单元和第二相位波测距单元，所述矫偏装置包括所述第一相位波测距单元和第三相位波测距单元，所述第一相位波测距单元、第二相位波测距单元和所述第三相位波测距单元中，任一相位波测距单元为电磁波测距仪、超声波测距仪或激光测距仪。

5.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述测厚装置包括第一三角波测距单元和第二三角波测距单元，所述第一三角波测距单元的测量波通路所在的平面、所述第二三角波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第一测量面共面设置。

6.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述矫偏装置包括第一三角波测距单元和第三三角波测距单元，所述第一三角波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第一测量面共面设置，所述第三三角波测距单元的测量波通路所在的平面和所述第二测量面共面设置。

7.如权利要求1所述的测宽设备，其特征在于，所述测厚装置包括第一三角波测距单元和第二三角波测距单元，所述矫偏装置包括所述第一三角波测距单元和第三三角波测距单元，所述第一三角波测距单元、第二三角波测距单元和所述第三三角波测距单元中，任一三角波测距单元均包括测量光生成器、线阵型光接收器，所述测量光生成器输出的测量光束和所述线阵型光接收器的延伸线设置在其所对应的测量面内。