[实用新型]麦克风及音频设备

说明书

本实用新型公开一种麦克风及音频设备，所述麦克风包括基座、衬底、振膜组件及阻声件，所述基座开设有进声孔；所述衬底设置于所述基座上；所述振膜组件与所述衬底连接，且所述振膜组件与所述衬底之间形成出声孔，所述振膜组件与所述基座之间形成声波通道，所述声波通道连通所述进声孔及所述出声孔；所述阻声件设置于所述声波通道内，从所述进声孔传入所述声波通道内的声波经所述阻声件阻挡后变道传向所述出声孔。该麦克风中的阻声件具有阻挡声波的作用，使得从进声孔传入声波通道内的声波在传送的过程中经过阻声件的阻挡后再传向出声孔，在传送的过程中发生变道情况，使得传向出声孔的声波得到衰减，减小声泄露，提高麦克风的低频性能。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，特别涉及一种麦克风及音频设备。

背景技术

目前，现有的MEMS麦克风通常采用平板电极检测，也有部分采用梳齿电极检测，其中，平板电极中振膜与背极板间存在的压膜阻尼是噪声的主要来源，尽管在背极板开设音孔可以降低压膜阻尼从而降低噪声，但开设音控又会降低背极板的刚度，因此噪声降低的程度有限。由于梳齿电极存在滑膜阻尼，其值比压膜阻尼低约一个数量级，因此梳齿电极相较于平板电极而言，可显著降低噪声从而提高信噪比。但是，对于梳齿电极检测的麦克风，入射声波会穿过梳齿间隙造成显著的声泄漏，从而导致较差的低频性能。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种麦克风，旨在解决现有技术中麦克风低频性能较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提出一种麦克风，所述麦克风包括：

基座，所述基座开设有进声孔；

衬底，所述衬底设置于所述基座上；

振膜组件，所述振膜组件与所述衬底连接，且所述振膜组件与所述衬底之间形成出声孔，所述振膜组件与所述基座之间形成声波通道，所述声波通道连通所述进声孔及所述出声孔；

阻声件，所述阻声件设置于所述声波通道内，从所述进声孔传入所述声波通道内的声波经所述阻声件阻挡后变道传向所述出声孔。

优选地，所述振膜组件包括：

振膜，所述振膜与所述衬底连接，所述振膜位于所述基座的上方并与所述基座之间形成所述声波通道，所述阻声件设置于所述基座上；

振膜梳齿，所述振膜梳齿与所述振膜连接，所述衬底设置有固定梳齿，所述振膜梳齿与所述固定梳齿互为嵌套设置且二者之间具有梳齿间隙，所述梳齿间隙形成所述出声孔，所述振膜梳齿在所述振膜的带动下沿振动方向移动并与所述固定梳齿之间形成可变电容。

优选地，所述进声孔正对所述振膜设置，所述阻声件对应所述振膜设置并围设在所述进声孔的外周，且所述阻声件的顶部与所述振膜之间具有第一过声间隙。

优选地，所述振膜梳齿连接于所述振膜的外周，且所述振膜梳齿向所述声波通道内延伸，以使所述振膜梳齿与所述阻声件的外壁之间形成第二过声间隙，所述第一过声间隙和所述第二过声间隙连通。

优选地，所述第一过声间隙的宽度为B₁，1um≤B₁≤10um；所述第二过声间隙的宽度为B₂，1um≤B₂≤100um。

优选地，所述阻声件包括主体部和多个连接部，所述主体部呈环形并围设在所述进声孔的外周，多个所述连接部沿所述主体部的外周间隔布置，且各所述连接部的一端与所述主体部连接，所述连接部的另一端与所述衬底连接。

优选地，所述振膜的外周通过多个弹性梁与所述衬底连接，多个所述弹性梁沿所述振膜的外周间隔布置；所述弹性梁与所述连接部的数量一致且一一对应布置。