[实用新型]用于集成光电子器件制造的清洁设备

权利要求书

1.用于集成光电子器件制造的清洁设备，其特征在于：包括支脚(2)、清洁箱(1)、伺服电机(7)、转盘(14)，所述清洁箱(1)底部连接有四根所述支脚(2)，所述清洁箱(1)顶部连接有所述伺服电机(7)，所述清洁箱(1)后侧连接有第一驱动电机(9)，所述清洁箱(1)后侧中部连接有吹风机(19)，所述清洁箱(1)一侧连接有第二驱动电机(10)，四根所述支脚(2)底部均连接有万向轮(3)，四根所述支脚(2)内侧并位于所述清洁箱(1)下方连接有支撑板(4)，所述支撑板(4)顶部连接有抽风机(16)，所述支撑板(4)顶部并位于所述抽风机(16)前方连接有集尘箱(18)，所述抽风机(16)连接有出风管(17)，所述出风管(17)一端与所述清洁箱(1)底部连接，所述出风管(17)另一端与所述集尘箱(18)连接，所述第一驱动电机(9)的输出轴连接有第一清洁辊(11)，所述第一清洁辊(11)前端连接有皮带轮(15)，所述第二驱动电机(10)的输出轴连接有第二清洁辊(12)，所述清洁箱(1)前侧的内壁上连接有第三清洁辊(13)，所述第三清洁辊(13)远离所述第二清洁辊(12)，所述第三清洁辊(13)前端连接有所述皮带轮(15)，两个所述皮带轮(15)通过皮带连接，所述吹风机(19)连接有进风管(8)，所述进风管(8)与所述清洁箱(1)顶部连接，所述清洁箱(1)底部内壁上连接有所述转盘(14)，所述转盘(14)顶部与所述伺服电机(7)的输出轴连接，所述转盘(14)外壁上连接有四个旋转臂(6)，四个所述旋转臂(6)另一端的顶部均连接有卡板(5)。

2.根据权利要求1所述的用于集成光电子器件制造的清洁设备，其特征在于：所述清洁箱(1)与所述支脚(2)焊接，所述万向轮(3)与所述支脚(2)通过螺栓连接，所述支撑板(4)与所述支脚(2)焊接，所述抽风机(16)与所述支撑板(4)通过螺栓连接，所述集尘箱(18)与所述支撑板(4)焊接，所述出风管(17)与所述集尘箱(18)插接，所述出风管(17)与所述清洁箱(1)焊接。

3.根据权利要求1所述的用于集成光电子器件制造的清洁设备，其特征在于：所述伺服电机(7)与所述清洁箱(1)通过螺栓连接，所述第一驱动电机(9)与所述清洁箱(1)焊接，所述第二驱动电机(10)与所述清洁箱(1)焊接，所述吹风机(19)与所述清洁箱(1)焊接，所述进风管(8)与所述清洁箱(1)焊接。

4.根据权利要求1所述的用于集成光电子器件制造的清洁设备，其特征在于：所述第一驱动电机(9)的输出轴与所述第一清洁辊(11)键连接，所述第二驱动电机(10)的输出轴与所述第二清洁辊(12)键连接，所述第三清洁辊(13)与所述清洁箱(1)轴承连接，所述转盘(14)与所述清洁箱(1)轴承连接，所述转盘(14)与所述伺服电机(7)的输出轴键连接，所述旋转臂(6)与所述转盘(14)焊接，所述卡板(5)与所述旋转臂(6)焊接。