[实用新型]用于气相沉积法的硫进气量控制装置

权利要求书

1.一种用于气相沉积法的硫进气量控制装置，包括加热仓体、进出气机构、加热机构、检测机构和升降机构，其特征是，所述加热仓体由外向内依次为密封外壳、保温夹层和抗腐蚀隔板，所述密封外壳为不锈钢制成的空心长方体，进出气机构固定在加热仓体的左右两侧，加热机构、检测机构和升降机构均固定在加热仓体内部。

2.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述进出气机构包括位于加热仓体右侧的进气管和位于加热仓体左侧的出气管，进气管和出气管均沿气体流动方向横向设置，加热仓体的左右两侧各开有一个与进气管和出气管尺寸匹配的通孔，进气管和出气管均穿过通孔并插入加热仓体内部。

3.如权利要求2所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述进气管和出气管处各固定有一个用来控制流量的电动球阀，两个电动球阀均固定在进气管和出气管位于加热仓体外部的部分。

4.如权利要求2所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述进气管和出气管均为内径为21mm、外径为25mm的石英管。

5.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述加热机构为镍铬电热丝，镍铬电热丝整体呈连续S型、固定在加热仓体内部顶端。

6.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述检测机构包括气体浓度检测器和温度传感器，气体浓度检测器和温度传感器均设有相同的两个，分别固定在加热仓体内壁左右两侧。

7.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述升降机构为电动升降台，固定在加热仓体内部底面上侧、且居中放置，电动升降台顶面还放置有用于盛放硫粉的刚玉舟。

8.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述加热仓体底部固定有四个垫脚，垫脚固定在加热仓体底部的四个角处，且四个垫脚均能调节高度。

9.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述加热仓体前侧还开有操作口，操作口为方形通孔，操作口处设有能沿左侧向外打开的仓体门，仓体门左侧铰连与加热仓体，仓体门与加热仓体的贴合面凸起设置有能嵌入加热仓体的密封保温块。

10.如权利要求1所述的用于气相沉积法的硫进气量控制装置，其特征是，所述加热仓体外壁固定有PLC，PLC与镍铬电热丝、电动球阀、气体浓度检测器、温度传感器和电动升降台连接，并连接至实验人员的电脑处。