[实用新型]用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置，包括密封壳体，所述密封壳体为空心长方体，密封壳体中按照废气流向依次连接有一次活性炭过滤器、碱液过滤器组和二次活性炭过滤器，所述碱液过滤器组共设有顺次连接的三个完全相同的碱液过滤器，一次活性炭过滤器处连接有进气管、二次活性炭过滤器处连接有排气管，进气管和排气管穿过通孔伸出密封壳体。本装置利用两个活性炭过滤器和三个碱液过滤器对CVD法合成二硫化钼过程的废气进行处理，同时利用装置内部的高浓度碱液储液槽和进液机构，根据碱液过滤器中碱液的浓度适时补充碱液以保证过滤效果，装置整体占地面积小，便于在多场景中使用，具有极强的具体使用价值。

技术领域

本实用新型涉及废气净化技术领域，具体涉及一种用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置。

背景技术

使用CVD技术合成二硫化钼过程中会产生大量废气，其中主要为酸性气体（HCl和HF）和氮氧化物（NO_X），若不加以处理就排放，会对大气环境造成污染，实验室中制备二硫化钼时，废气通常使用排气装置直接排除，但废气中的酸性气体会腐蚀排气管道。现有的废气处理装置大多为大型生产线服务，其占地面积大，不易于组装，不适合实验室中使用，因此急需一种能便于处理实验室制备二硫化钼时产生废气的装置，以保护实验人员的安全，同时保护大气环境不受污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置，其结构简单、设计合理，占地面积小，便于在实验室内处理废气。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

用于CVD合成二硫化钼过程的废气处理装置，包括密封壳体，所述密封壳体为空心长方体，密封壳体中按照废气流向依次连接有一次活性炭过滤器、碱液过滤器组和二次活性炭过滤器，所述碱液过滤器组共设有顺次连接的三个完全相同的碱液过滤器，一次活性炭过滤器处连接有进气管、二次活性炭过滤器处连接有排气管，密封壳体的左右两侧面各开有一个与进气管和出气管尺寸匹配的通孔，进气管和排气管穿过通孔伸出密封壳体。

所述进气管和排气管分别插入一次活性炭过滤器和二次活性炭过滤器，进气管远离一次活性炭过滤器的一端固定有橡胶塞，橡胶塞由防腐蚀橡胶制成、且中心设有供气体流通的圆形通孔，利用橡胶塞将装置整体与CVD反应装置尾端连接，并保证无废气泄露至环境中。

所述碱液过滤器中装有浓度为15%-25%的NaOH溶液，且碱液过滤器中NaOH溶液液位低于碱液过滤器总高度的80%。

所述碱液过滤器处设有搅拌装置，搅拌装置包括固定在碱液过滤器顶端的搅拌电机和与搅拌电机连接的搅拌桨，搅拌电机竖向设置、输出轴伸向碱液过滤器内，搅拌桨为直叶桨、且靠近碱液过滤器底面，增加废气通入后与液体的接触面积。

所述碱液过滤器内固定有浓度在线监测装置，浓度在线监测装置为在线pH计或在线NaOH浓度测定仪，实时监测碱液过滤器内的NaOH溶液浓度。

所述密封壳体内固定有碱液储液槽，碱液储液槽为由聚乙烯制成的空心长方体，碱液储液槽处设有三组进液机构，三组进液机构分别对应三个碱液过滤器，所述进液机构包括水泵和进液管，进液管的两端分别连接固定在碱液储液槽底部和碱液过滤器底部，水泵固定在进液管中段，利用水泵将碱液储液槽中高浓度的碱液输送到碱液过滤器中。

所述碱液过滤器底部开有废液口，废液口为圆形通孔，废液口处连接有排液管，排液管穿过密封壳体侧面的通孔连接至废液缸处，确保装置的废液得到妥善处置。

所述排液管处设有电子阀门，电子阀门在排液管靠近废液口处。

所述密封壳体内设有PLC，PLC固定在密封壳体内壁处，PLC分别与搅拌装置、浓度在线监测装置、水泵和电子阀门连接，PLC根据浓度在线监测装置反馈的实时信息，调整搅拌装置的搅拌功率、水泵的上水速度和电子阀门的开关，保证碱液过滤器中的碱液浓度能够有效去除废气中的有害成分。