[实用新型]真空腔室用密封连接装置

说明书

本实用新型公开了一种真空腔室用密封连接装置，包括：安装孔，为开设在真空腔室腔壁上的通孔，具有台阶结构，其大头端底面为第一平面结构；插装件，穿设在安装孔中，且插装件的外径与台阶结构的小头端内径相适配；顶紧环，套接在插装件上并与台阶结构的大头端螺接相连，顶紧环的底面为第二平面结构；密封组件，套接在插装件上并位于第一平面结构和第二平面结构之间，包括密封圈和带有倾斜端面的挤压套环；其中，顶紧环向第一平面结构移动直至密封圈变形并紧贴插装件构成密封结构。本实用新型结构简单，安装方便，其通过设置顶紧环和具有倾斜端面的挤压套环，使密封圈压缩并紧贴在插装件的表面，从而实现紧密密封，满足高真空环境的密封要求。

技术领域

本实用新型涉及真空密封技术领域，尤其是涉及一种真空腔室用密封连接装置。

背景技术

为了保证真空腔内的正常压力，在真空腔室的腔壁上安装贯穿型零部件（插装件）时需要通过密封连接件等进行连接。如图1所示的质谱仪的质量分析器，其包括飞行管X、安装在飞行管X内的离子反射器F，以及连接在离子反射器F顶部的角度调节装置T，上述角度调节装置T的操作杆穿过飞行管上盖并延伸至飞行管X外侧。因飞行管内需维持真空环境，且真空度高达10-7mbar，因此，该操作杆不仅需要与飞行管密封连接，而且，还需要与上述高真空操作环境相适配的密封装置。

发明内容

本实用新型提供一种能够满足高真空密封要求的真空腔室用密封连接装置，具体可采取如下技术方案：

本实用新型所述的真空腔室用密封连接装置，包括

安装孔，为开设在真空腔室腔壁上的通孔，具有台阶结构，所述台阶结构的大头端底面为第一平面结构；

插装件，穿设在所述安装孔中，且所述插装件的外径与台阶结构的小头端内径相适配；

顶紧环，套接在插装件上并与台阶结构的大头端螺接相连，所述顶紧环的底面为第二平面结构；

密封组件，套接在插装件上并位于所述第一平面结构和第二平面结构之间，包括密封圈和带有倾斜端面的挤压套环；

其中，顶紧环向第一平面结构移动直至所述密封圈变形并紧贴插装件构成密封结构。

所述密封组件由一个挤压套环和一个密封圈组成，所述挤压套环的顶面与第二平面结构相接触，挤压套环的底面由内向外向下倾斜构成所述倾斜端面；所述密封圈设置在第一平面结构和挤压套环的底面之间。

所述密封组件由多个交错设置的挤压套环和密封圈组成，所述挤压套环的顶面均为平面，每个挤压套环的底面由内向外向下倾斜构成所述倾斜端面；且位于顶部的挤压套环顶面与第二平面结构相接触，位于底部的所述密封圈与第一平面结构相接触。

所述挤压套环的倾斜端面锥度由上到下逐渐变大。

所述密封组件由从上到下依次设置的垫圈、上密封圈、挤压套环和下密封圈组成，所述挤压套环的厚度由内向外逐渐增加使其顶面和底面均构成所述倾斜端面。

所述挤压套环的倾斜端面的锥度为5-15°。

所述挤压套环的内外两侧均设置有环向储油槽。所述挤压套环的内外两侧均设置有环向储油槽。所述密封组件内填充有密封润滑脂，密封润滑脂填充在密封圈的周围，在插装件与密封圈进行相对运动时，密封润滑脂起到润滑作用，避免密封圈过度磨损而影响密封效果。

所述真空腔室腔壁上还设置有注油孔道，所述注油孔道的一端延伸至大气端并设置有密封螺栓，注油孔道的另一端与所述挤压套环外侧的环向储油槽相连通。

本实用新型提供的真空腔室用密封连接装置，结构简单，安装方便，密封效果好，其通过设置顶紧环和具有倾斜端面的挤压套环，使密封圈压缩并紧贴在插装件的表面，从而实现紧密密封，满足高真空环境的密封要求。

附图说明