[实用新型]一种操作方便的硅烷高效纯化设备有效
申请号: | 202023216281.4 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN214763465U | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 戴荣国 | 申请(专利权)人: | 江苏安瑞森电子材料有限公司 |
主分类号: | B01D15/10 | 分类号: | B01D15/10;B01D15/20;C01B33/04 |
代理公司: | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人: | 杨春女 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 操作 方便 硅烷 高效 纯化 设备 | ||
1.一种操作方便的硅烷高效纯化设备,包括密封罐(1),其特征在于:所述密封罐(1)顶部与底部分别通过螺栓固定安装有上端盖(11)与下端盖(13),所述上端盖(11)内固定套有出气管(12),所述下端盖(13)内固定套有进气管(14),所述上端盖(11)底部中心处通过螺栓固定安装有电机(2),所述电机(2)输出端底部焊接有螺纹杆(21),所述螺纹杆(21)外壁顶部啮合套有上孔板(22),所述上孔板(22)活动套在密封罐(1)内壁顶部,所述上孔板(22)内活动插接有限位杆(23),所述限位杆(23)顶端与上端盖(11)底部焊接,所述螺纹杆(21)外壁中部焊接有对称分布的两个刮架(24),所述刮架(24)一侧与密封罐(1)内壁相接触,所述螺纹杆(21)外壁底部转动套有下孔板(3),所述下孔板(3)外壁固定套在密封罐(1)内壁底部,所述下孔板(3)顶部接触有细孔过滤网(31),所述细孔过滤网(31)粘接有压力传感器(32),所述上孔板(22)、下孔板(3)和密封罐(1)内壁之间填充有吸附剂(33),所述密封罐(1)内壁顶部固定套有倾斜的进料管(4),所述密封罐(1)内壁底部固定套有倾斜的出料管(41),所述密封罐(1)外壁通过螺栓固定安装有倒顺开关(15)。
2.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述进料管(4)与出料管(41)内均固定安装有电磁阀(42)。
3.根据权利要求2所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述电机(2)与倒顺开关(15)电性连接,所述倒顺开关(15)、压力传感器(32)和电磁阀(42)均与外部电源电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述出料管(41)一侧与刮架(24)外壁底部相接触。
5.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述刮架(24)底部与细孔过滤网(31)顶部相接触。
6.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述细孔过滤网(31)固定套在密封罐(1)内壁底部。
7.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述螺纹杆(21)底端转动套在细孔过滤网(31)内,所述出料管(41)顶端外壁与细孔过滤网(31)顶部相接触。
8.根据权利要求1所述的一种操作方便的硅烷高效纯化设备,其特征在于:所述进料管(4)位于电机(2)与刮架(24)之间。
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