[实用新型]一种显微镜样品台

说明书

本实用新型公开了一种显微镜样品台，包括：底座；设置于底座上的三维运动机构，所述三维运动机构能够沿着第一方向、第二方向、以及第三方向运动，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此夹角为60°至120°之间；或者所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此正交；设置在三维运动机构上的并能绕与所述第三方向平行的轴旋转的支撑结构；设置于所述支撑结构上的样品托放置部；所述支撑结构包括锁定机构，通过所述锁定机构以固定样品托。该样品台占用空间小、样品容量大、可三维调整样品位置、可自动锁定及解锁样品托、可控制样品温度。

技术领域

本实用新型涉及显微镜技术领域，特别涉及一种显微镜样品台。

背景技术

电子显微技术是利用电子光学系统进行显微成像与原位分析的技术。电子显微镜的特点在于：在极高的放大倍率下，可以直接观察样品的形貌结构和样品成分；具有很高的分辨率，可直接分辨原子，进行纳米尺度的晶体结构及成分分析；发展方向趋向多功能、综合性。

电子显微镜样品台是电子显微镜系统中用于承载待测样品的装置。现有技术的电子显微镜样品台大多是通过使用较大的XY轴移动行程实现一次对多个样品进行观测，导致电子显微镜体积较大，尤其样品室体积较大。同时，现有技术的样品台承载的样品数量依然有限，当观测样品数量较多时，需要人工频繁更换样品，并在每次更换样品之后重新进行设备抽真空、重新调试样品观测位置及焦距等操作；另外现有技术在更换样品过程中，仍需人工进行锁定并确认样品安装是否稳固，防止观测过程中样品托脱落，缺少可以将样品托自动锁定、解锁及夹紧的装置，导致影响观测效果、效率低下、浪费时间和人力。

实用新型内容

为解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提出一种显微镜的样品台，该样品台占用空间小、样品容量大、可三维调整样品位置、可控制样品温度，通过锁定结构可以实现将样品台与样品托自动锁定和解锁，并可实时检测锁定状态，可实现全自动解锁更换样品托并对更换后样品托进行自动锁定，无需人工参与特别适合于电子显微镜的应用场景。

本实用新型提出了一种显微镜的样品台，包括：

底座；

设置于底座上的三维运动机构，所述三维运动机构能够沿着第一方向、第二方向、以及第三方向运动；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此夹角为60°至120°之间；或者所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向彼此正交；

设置在三维运动机构上的并能绕与所述第三方向平行的轴旋转的支撑结构；

设置于所述支撑结构上的样品托放置部；

所述支撑结构包括锁定机构，通过所述锁定机构以固定所述样品托。

可选的，所述支撑结构包括：设置于所述三维运动机构上并能绕与所述第三方向平行的轴旋转的第四支撑结构。

可选的，所述锁定机构包括至少两个爪头和分别与所述爪头连接的复位部件。

可选的，所述支撑结构包括第五驱动机构，所述第五驱动机构用于驱动锁定结构的锁定或解锁。

可选的，所述第五驱动机构包括传动部件、转向部件、动力部件，所述传动部件的一端在锁定状态下与爪头接触并驱动爪头沿支撑结构的截面中心向外移动，在解锁状态下脱离爪头，传动部件的另一端与转向部件连接，转向部件一端与传动部件连接，另一端连接动力部件。

可选的，所述三维运动机构包括第一运动机构和第二运动机构，所述第一运动机构能够驱动所述支撑结构沿着第一方向和第二方向运动，所述第二运动机构能够驱动所述支撑结构沿着第三方向运动。

可选的，所述三维运动机构更具体的一个包括：设置于所述底座上且能够相对于所述底座在第一方向上移动的第一支撑结构；

设置于所述第一支撑结构上且能够相对于所述第一支撑结构在第二方向上移动的第二支撑结构；