[实用新型]一种石英管真空封管装置有效
申请号: | 202023229069.1 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN214032224U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 章于道;徐岭;成伟;葛芳萍 | 申请(专利权)人: | 江阴市赛贝克半导体科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B23/057 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 吴芳 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英管 真空 装置 | ||
1.一种石英管真空封管装置,用于给石英管(5)真空封口,其特征在于,包括
石英管在线旋转真空抽取系统,所述石英管在线旋转真空抽取系统包括机体外壳(100)、真空泵(112)和调速电机,所述机体外壳(100)上设有一个或多个石英管真空接头(111),所述石英管(5)的开口端接在所述石英管真空接头(111)上,所述真空泵(112)用于给所述石英管(5)抽真空,所述调速电机用于驱动所述石英管(5)以其轴线为中心进行旋转;
石英管支撑平台(2),所述石英管支撑平台(2)与所述石英管在线旋转真空抽取系统相对设置,所述石英管支撑平台(2)上设有一个或多个石英管固定座(201),所述石英管固定座(201)与所述石英管支撑平台(2)枢轴连接;
火焰枪固定支架(3),所述火焰枪固定支架(3)设有一个或多个火焰枪固定卡槽(303)。
2.根据权利要求1所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述石英管固定座(201)与所述石英管真空接头(111)一一对应,所述石英管(5)的一端竖直固定在所述石英管固定座(201)上,另一端竖直固定在所述石英管真空接头(111)上。
3.根据权利要求1所述的石英管真空封管装置,其特征在于,还包括基座(4),所述机体外壳(100)通过支杆(6)固定在所述基座(4)上方,所述石英管支撑平台(2)放置在所述基座(4)和所述机体外壳(100)之间。
4.根据权利要求1所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述真空泵(112)设置在所述机体外壳(100)外部,并通过波纹管(109)与所述机体外壳(100)上设置的真空挡板阀(106)相连。
5.根据权利要求4所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述调速电机设置在所述机体外壳(100)内部,所述调速电机通过同步带轮驱动所述石英管(5)旋转。
6.根据权利要求5所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述调速电机驱动所述石英管(5)以1-20r/min的转速进行旋转。
7.根据权利要求5所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述机体外壳(100)上还设有一个或多个直通阀(110),所述直通阀(110)的一端与所述石英管真空接头(111)对应相连,其另一端通过磁流体部件与所述真空挡板阀(106)相连,所述直通阀(110)能够相对于所述真空挡板阀(106)转动,所述磁流体部件通过所述同步带轮的传动发生转动。
8.根据权利要求3所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述火焰枪固定支架(3)包括竖杆(304)和横杆(305),所述竖杆(304)竖直固定在所述基座(4)上,所述横杆(305)通过调节装置固定在所述竖杆(304)上,所述调节装置用于调节所述横杆(305)相对所述竖杆(304)上下左右移动以及调节所述横杆(305)所在的方位。
9.根据权利要求1所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述石英管支撑平台(2)为升降式平台。
10.根据权利要求9所述的石英管真空封管装置,其特征在于,所述石英管固定座(201)通过滚珠式轴承(202)与所述石英管支撑平台(2)枢轴连接。
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