[实用新型]镀膜治具及镀膜装置有效
| 申请号： | 202023229735.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214218848U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张续朋;刘宏亮;杨彦伟 | 申请（专利权）人： | 芯思杰技术（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 艾青;牛悦涵 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
1.一种镀膜治具，其特征在于，所述镀膜治具包括治具本体，所述治具本体形成有自所述治具本体正面贯穿至所述治具本体背面的镀膜空间，所述治具本体正面相对设置的两侧分别开设有凹槽，所述凹槽的内壁形成用于放置待镀膜芯片的放置区域，且所述凹槽的内壁的截面形状呈V字形。
2.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述凹槽的内壁的截面形状呈夹角为90度的V字形。
3.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述治具本体包括平行设置的两个主体部，两个所述主体部之间形成有所述镀膜空间，且两个所述主体部上均开设有所述凹槽。
4.根据权利要求3所述的镀膜治具，其特征在于，两个所述主体部之间的距离等于待镀膜芯片的镀膜长度。
5.根据权利要求3所述的镀膜治具，其特征在于，所述治具本体还包括连接两个所述主体部的连接部，所述连接部设置有两个，且两个所述连接部分别连接两个所述主体部的两端。
6.根据权利要求5所述的镀膜治具，其特征在于，所述主体部与所述连接部一体加工而成。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的镀膜治具，其特征在于，所述治具本体相对设置的两侧均开设有多个所述凹槽，且两侧开设的所述凹槽一一对应。
8.根据权利要求1至6任意一项所述的镀膜治具，其特征在于，所述镀膜治具包括相连接的两个所述治具本体，且两个所述治具本体的正面正对连接。
9.根据权利要求8所述的镀膜治具，其特征在于，两个所述治具本体可拆卸连接。
10.一种镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的镀膜治具以及镀膜机，所述镀膜治具安装在所述镀膜机上。
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