[实用新型]一种可观测型微纳米力学测试装置

权利要求书

1.一种可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：包括支撑组件、驱动组件、载物组件和成像组件；所述驱动组件和成像组件分别竖直设置于所述支撑组件上，所述载物组件水平设置于所述支撑组件上，且所述载物组件位于所述驱动组件和成像组件下方；所述载物组件用于承载试样和实现试样的移动；所述驱动组件用于驱动压头在试样上施加载荷，并使试样产生压痕；所述成像组件用于观测并分析试样上的压痕。

2.根据权利要求1所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述支撑组件包括支撑底板和支撑背板，所述支撑底板水平设置，所述支撑背板固定竖直设置于所述支撑底板顶部一侧；所述驱动组件和成像组件设置于所述支撑背板上，所述载物组件设置于所述支撑底板上。

3.根据权利要求2所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述载物组件包括X轴精密滑台，所述X轴精密滑台上水平滑动设置有滑块，所述滑块顶部固定安装有转接板，所述转接板顶部固定连接有夹台，所述夹台用于夹持试样；所述X轴精密滑台底部固定设置于所述支撑底板上。

4.根据权利要求2所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述驱动组件包括支撑模块、精密下压装置、载荷检测模块和位移检测模块；所述支撑模块包括悬臂梁和光栅固定架，所述光栅固定架固定安装在水平设置的所述悬臂梁下部，所述精密下压装置固定连接在所述悬臂梁上，且所述精密下压装置的输出轴竖直朝下设置，所述载荷检测模块螺纹固定连接在所述精密下压装置的输出轴下端，所述位移检测模块固定连接在所述光栅固定架上，所述载荷检测模块下端固定连接有压头固定器，所述压头固定器用于固定安装压头；所述悬臂梁一端与所述支撑背板固定连接。

5.根据权利要求2所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述成像组件包括显微镜、显微镜支架和Z轴滑台；所述显微镜采用顶丝固定在所述显微镜支架顶部，所述显微镜支架底部一侧通过螺栓固定在所述Z轴滑台上，所述Z轴滑台通过螺栓固定在所述支撑背板上。

6.根据权利要求4所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述精密下压装置为直线步进电机，所述精密下压装置通过螺栓固定连接在所述悬臂梁上；所述载荷检测模块为力传感器，所述力传感器顶部通过转接头与所述精密下压装置连接，所述力传感器底部与所述压头固定器连接；所述位移检测模块包括光栅尺和光栅读数头，所述光栅固定架上设有长圆孔，所述光栅读数头通过螺栓固定连接在所述光栅固定架的长圆孔上，所述光栅尺粘贴在所述压头固定器上，所述光栅尺与所述光栅读数头相对设置且所述光栅尺平行于所述光栅读数头。

7.根据权利要求5所述的可观测型微纳米力学测试装置，其特征在于：所述显微镜包括物镜、点光源、镜筒和相机；所述物镜为转塔结构，所述镜筒上部通过螺纹与所述相机相连，所述镜筒下部通过螺纹与物镜相连，所述镜筒下部通过顶丝与点光源相连，所述镜筒中部通过顶丝固定在显微镜支架上；所述相机能够直接将物镜所成的像传输到控制系统上，进行实时观测。