[实用新型]一种适用于条形磁控靶的挡板结构有效
| 申请号： | 202023238360.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214422740U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 王丁;张帆;李平川;唐德礼 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 条形 磁控靶 挡板 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：包括位于真空室内的挡板(1)和挡板座(2)，以及与挡板(1)一端连接的驱动机构(3)；
所述的挡板(1)由上下2块支撑板(8)和1块面板(9)焊接而成；
所述的驱动机构(3)的前端为夹持安装结构；所述的挡板(1)的安装端位于夹持安装结构内；挡板(1)转动时，安装端在夹持安装结构中转动。
2.如权利要求1所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的夹持安装结构由两块固定安装的夹持板组成，所述的挡板(1)的安装端截面为圆形，其位于夹持安装结构的加持板之间，并且通过螺钉固定。
3.如权利要求2所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的驱动机构(3)为驱动杆，其与磁控靶法兰(6)上接口连接。
4.如权利要求3所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的挡板座(2)与磁控靶底板(7)连接；磁控靶靶材(10)安装在磁控靶底板(7)外部。
5.如权利要求4所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的面板(9)加工成曲面，其截面具有曲线边。
6.如权利要求5所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的面板(9)一侧加工有外翻的唇边。
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