[实用新型]一种具有散热设备的真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，方案为一种具有散热设备的真空镀膜机，包括有真空镀膜机机体，所述真空镀膜机机体内设有旋转存放架，所述旋转存放架底端连接有驱动设备，所述真空镀膜机机体右壁下侧设置有进风管，所述进风管上设置有第一真空阀，所述进风管的外侧连接有吹气机，本方案使用时，吹气机对着蚊香管进行吹风，蚊香管内通有循环冷却水，该种设计使得冷却水的冷气快速向上移动与工件接触，达到更快的降温效果，提高了设备的散热效率，且真空镀膜机内排出的热气还经过水浴换热机构换热之后才排出，能够降低热气对周围环境温度的影响，设置的拦尘机构，能够有效阻挡镀膜时产生的气体镀材进入进出风管以及真空阀中。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种具有散热设备的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机指的就是真空度较高的情况下进行的镀膜设备，大致包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、PLD激光溅射沉积镀膜机等。由于真空镀膜机在进行镀膜的时候，必须通过加热装置将其内部的温度加热至很高的温度后，才能够开始镀膜工作，当完成镀膜后，需要待其内部温度降下来后才能够进行取料。由于现有技术中的真空镀膜机内的降温散热效果大多达不到要求，造成在生产时需要耗费大量的时间去等待降温，从而增大了生产的时间成本以及人力成本。

现有技术中通常会在真空镀膜机的内侧埋设冷却水管以进行降温散热，但是其只依赖冷却水管自然扩散冷气进行换热降温，而该过程是比较低效的，真空镀膜机内部散热效果仍然比较慢。

基于此，本实用新型设计了一种具有散热设备的真空镀膜机，以解决上述出现的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有散热设备的真空镀膜机，以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有散热设备的真空镀膜机，包括有真空镀膜机机体，所述真空镀膜机机体内设有旋转存放架，所述旋转存放架底端连接有驱动设备，所述真空镀膜机机体右壁下侧设置有进风管，所述进风管上设置有第一真空阀，所述进风管的外侧连接有吹气机，所述真空镀膜机机体左壁上侧设置有出风管上设置有第二真空阀，所述出风管的外端连接有水浴换热机构，所述真空镀膜机机体内腔下部设有两组蚊香管，相邻蚊香管的中部通过短管连通，上侧蚊香管通过第一管道连接有循环水泵，下侧蚊香管通过第二管道连接冷却水池，所述循环水泵的抽水端与冷却水池的池底相连接，所述真空镀膜机机体内腔靠近进风管和出风管的位置均设置有拦尘机构。

优选的，所述吹气机的进风口连接有空气过滤器。

优选的，所述拦尘机构包括伸缩气缸，所述伸缩气缸固定设在真空镀膜机机体的内壁上，所述伸缩气缸的活动端连接有挡板，所述挡板滑动抵接真空镀膜机机体的内壁。

优选的，所述换热机构包括有长筒体，所述长筒体内设有换热管，所述换热管为L型管，所述换热管竖管顶端贯穿长筒体顶壁与出风管连接，所述换热管的横管端部贯穿长筒体的左侧壁，所述长筒体的顶端左侧设置有进水口，所述长筒体的底端左侧设有排水管，所述排水管上设有水阀。

优选的，所述换热管的竖管管壁上均匀分布有换热凸管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本方案使用时，吹气机对着蚊香管进行吹风，蚊香管内通有循环冷却水，该种设计使得冷却水的冷气快速向上移动与工件接触，达到更快的降温效果，提高了设备的散热效率，且真空镀膜机内排出的热气还经过水浴换热机构换热之后才排出，能够降低热气对周围环境温度的影响，设置的拦尘机构，能够有效阻挡镀膜时产生的气体镀材进入进出风管以及真空阀中。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；