[实用新型]一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒有效

专利信息
申请号: 202023243392.4 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN214300457U 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 申富强;申富胜 申请(专利权)人: 安顿雷纳新材料(江苏)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 钱超
地址: 211700 江苏省淮*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉用耐 腐蚀 保温
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒,包括多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片、卡箍在石墨拱门连接件和第一碳碳连接片上、下端的上卡箍及下卡箍;所述多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片构成圆环状结构,所述石墨拱门连接件上开设有排气孔。本实用新型采用多个石墨拱门连接件与若干第一碳碳连接片拼接成的下保温筒,石墨拱门连接件上设置有排气孔,排气孔位置处采用整体石墨拱门连接件代替碳碳材料上所具有的排气孔,可以有效的增加整体结构强度,提高零件的寿命。

技术领域

本实用新型属于单晶炉保温筒技术领域,具体涉及一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒。

背景技术

单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。在单晶炉中设置有保温筒,其为单晶炉内部热场的重要组成部分,为石墨材质,一般在保温筒外侧面裹有一定厚度的碳毡用于对单晶炉内的热场进行保温,依据其所处热场的位置不同而分为上、中、下三种保温筒。

其中,下保温筒设置在靠近单晶炉炉底的部位,位于热场的下部,其侧壁需要开设排气孔,需要不断的将热场中的高温气流从排气孔排出,但是,开设排气孔的设置会大大降低整体结构强度,由于此处腐蚀最为严重,开孔位置处容易断裂。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒,以解决背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供一种单晶炉用耐腐蚀的下保温筒,包括多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片、卡箍在石墨拱门连接件和第一碳碳连接片上、下端的上卡箍及下卡箍;所述多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片构成圆环状结构,所述石墨拱门连接件上开设有排气孔。

进一步的,所述排气孔开设为拱门形状。

进一步的,多个所述石墨拱门连接件均匀布置在若干第一碳碳连接片之间。

优选的,所述石墨拱门连接件的个数为4个。

进一步的,所述下卡箍的下方还设置有若干第二碳碳连接片,若干所述第二碳碳连接片下方设置有底部卡箍。

优选的,若干所述第二碳碳连接片在所述石墨拱门连接件正下方位置处具有与石墨拱门连接件的排气孔同样宽度的缺口,所述底部卡箍在缺口位置处设置为断开状态。

进一步的,所述上卡箍为圆环状,所述下卡箍在排气孔位置处设置为断开状态。

进一步的,所述上卡箍的下端面设置有供多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片插接的下插槽。

优选的,所述下卡箍的上端面设置有供多个石墨拱门连接件、若干第一碳碳连接片插接的上插槽及供多干第二碳碳连接片插接的下插槽。

优选的,所述底部卡箍的上端面具有供第二碳碳连接片插接的上插槽。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:本实用新型采用多个石墨拱门连接件与若干第一碳碳连接片拼接成的下保温筒,石墨拱门连接件上设置有排气孔,排气孔位置处采用整体石墨拱门连接件代替碳碳材料上所具有的排气孔,可以有效的增加整体结构强度,提高零件的寿命,本实用新型通过采用石墨材料制成了一个石墨拱门连接件,与其他碳碳结构的零件组合成保温筒,可以显著的增加结构强度,实现提高了下保温筒的使用寿命1倍以上,同时,降低了使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1的结构示意图;

图2为本实用新型的实施例2的结构示意图。

附图标记说明:1、石墨拱门连接件;2、第一碳碳连接片;3、上卡箍;4、下卡箍;5、排气孔;6、第二碳碳连接片;7、底部卡箍;8、缺口。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

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