[实用新型]一种用于加工和转移超滑片的设备有效
| 申请号： | 202023245304.4 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN213814415U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郑泉水;杨德智;白玉蝶 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G01D21/02 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 转移 超滑片 设备 | ||
1.一种用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：包括
载台，所述载台上设有第一区域和用于放置目标基底的第二区域；
用于监测超滑片和所述目标基底的第一监测组件，所述第一监测组件的视野朝向所述载台；以及
用于在所述第一区域和所述第二区域之间转移所述超滑片的转移组件，所述转移组件工作时，所述转移组件的至少一部分位于所述第一监测组件和所述载台之间，且位于所述第一监测组件的视野范围内。
2.如权利要求1所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述转移组件包括转移头、测力传感器和第一驱动部件，所述转移头由所述第一驱动部件驱动，且所述测力传感器设于所述转移头和所述第一驱动部件之间。
3.如权利要求2所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述测力传感器采用悬臂测力传感器，且所述转移头固定于所述悬臂测力传感器的悬臂端。
4.如权利要求1所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：还包括用于驱动所述载台的载台驱动组件。
5.如权利要求4所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述载台驱动组件包括驱动所述载台升降的升降驱动部件以及驱动所述载台水平移动的水平驱动部件。
6.如权利要求1至5任一项所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述第一监测组件包括纵向显微镜和摄像元件，所述摄像元件设于所述纵向显微镜的内部或者设于所述纵向显微镜的目镜上方。
7.如权利要求1至5任一项所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述第一监测组件和所述载台之间还设有第一测距仪。
8.如权利要求1至5任一项所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：还包括设于所述载台一侧的第二监测组件，所述第二监测组件的视野朝向所述目标基底的侧部。
9.如权利要求8所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：所述第二监测组件和所述载台之间设有第二测距仪。
10.如权利要求1至5任一项所述的用于加工和转移超滑片的设备，其特征在于：还包括支撑架，所述第一监测组件和所述转移组件均固定于所述支撑架上。
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