[实用新型]一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置

说明书

一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置，套设于高压喷头外，包括筒体，其顶部具有开口供高压喷头插入，底部设有喷孔，该喷孔直径大于高压喷头的直径，且喷孔位于高压喷头喷射端下方；筒体底部设有若干小孔。本实用新型通过筒体实现金属薄膜碎片的自动收集，避免其回溅而刮伤晶圆片，从而提高产品良率。

技术领域

本实用新型涉及金属剥离工艺设备领域，特别是一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置。

背景技术

金属剥离工艺(metal lift-off technology)是指基片经过涂覆光阻、曝光、显影后，以具有一定图形的光阻膜为掩模，带胶蒸发所需的金属，然后在去除光致抗蚀剂的同时，把胶膜上的金属一起剥离干净，在基片上只剩下原刻出图形的金属。

目前的Lift-off工艺由于成本因素，会考虑采用单片静置NMP浸泡，然后直接用高压NMP喷离金属从而实现自动剥离工艺效果。但是，该工艺在高压喷扫时晶圆的表面还是存在较大面积的金属薄膜，而被剥离的金属薄膜由于没有较好的处理方法经常会出现金属返溅，粘连晶圆表面或飞溅对晶圆造成刮伤。特别是随着金属厚度增加，刮伤变成不可避免的情况,从而造成电性或外观异常,最终损失产品良率。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术的金属剥离工艺中，存在金属返溅，粘连晶圆表面或飞溅对晶圆造成刮伤，提出一种金属剥离工艺的收集装置和金属剥离装置。

本实用新型采用如下技术方案：

一种金属剥离工艺的收集装置，套设于高压喷头外，其特征在于：包括筒体，其顶部具有开口供高压喷头插入，底部设有喷孔，该喷孔直径大于高压喷头的直径，且喷孔位于高压喷头喷射端下方；筒体底部设有若干小孔。

优选的，所述喷孔设于筒体底部中心，通过连接框与筒体固接，所述筒体底部设有至少两活动板围绕所述喷孔圆周分布，该活动板一端与筒体侧壁铰接，另一端与喷孔外侧为可拆卸配合，活动板上设有若干所述小孔。

优选的，所述喷孔外侧具有凹槽，所述活动板靠近喷孔一端具有一向上延伸的凸齿，其与凹槽扣合将活动板固定于筒体底部。

优选的，还包括至少一抽吸管，该抽吸管固定于筒体上部侧壁且朝向筒体内，用以将金属碎片吸附至筒体侧壁。

优选的，所述筒体靠近底部的侧壁设有若干小孔。

优选的，所述喷孔还设有挡圈，挡圈高于筒体底部一段距离形成环形台阶。

优选的，所述挡圈侧壁设有若干小孔。

优选的，所述高压喷头依序由机台固定部、活动部和喷嘴组成，至少三个连接件一端与筒体侧壁上部连接，另一端与所述高压喷头的机台固定部可拆卸连接。

优选的，所述筒体底部设置为软质的环形弧面，其可在所述筒体向下施压时，变形贴合底部支撑面并推动喷孔向上隆起。

一种金属剥离装置，包括剥离机，其设有高压喷头和载物台，其特征在于：还包括上述的一种金属剥离工艺的收集装置，所述筒体位于高压喷头和载物台之间。

由上述对本实用新型的描述可知，与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型的装置，筒体套设于高压喷头外并设有喷孔，筒体底部设有若干小孔，高压清洗时，金属薄膜从晶圆片表面剥离，四处飞溅，经小孔进入筒体内实现自动收集，避免金属回溅而刮伤晶圆片，从而提高产品良率。

2、本实用新型的装置，筒体底部设置可拆卸配合的活动板，保养时，操作扣条从扣槽脱离，活动板下翻，即可方便清洗筒体内壁和活动板内壁，十分方便。

3、本实用新型的装置，可设置抽吸管对筒体内壁附近进行抽气，从而产生负压，用于将金属膜碎片吸附至筒体侧壁，提高收集效率。