[实用新型]一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组有效
| 申请号： | 202023247533.X | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214249909U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167;F24F8/158;F24F8/108;F24F8/20;F24F13/28 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净室 空气 处理 机组 | ||
1.一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，包括机组本体(1)，其特征在于：所述机组本体(1)的内壁滑动连接有活性炭杀菌网(2)，所述机组本体(1)的内壁滑动连接有第一防尘网(3)，所述机组本体(1)的内壁滑动连接有第二防尘网(4)，所述活性炭杀菌网(2)、第一防尘网(3)和第二防尘网(4)的顶部均固定连接有拉板(19)，所述机组本体(1)的顶部固定连接有固定盒(5)，所述固定盒(5)的内壁滑动连接有拉杆(6)，所述拉杆(6)的一端固定连接有限位板(7)，所述固定盒(5)与限位板(7)之间固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的外表面套接有压缩弹簧(9)，所述压缩弹簧(9)的两端分别与固定盒(5)和限位板(7)固定连接，所述限位板(7)的一侧固定连接有插杆(10)，所述机组本体(1)的顶部固定连接有直板(11)，所述直板(11)的一侧固定连接有套筒(12)，所述插杆(10)与套筒(12)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述机组本体(1)的内壁开设有安装槽(13)，所述安装槽(13)的数量为三个，三个所述安装槽(13)分别与活性炭杀菌网(2)、第一防尘网(3)、第二防尘网(4)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述机组本体(1)的正面通过合页开设有拉门(14)，所述拉门(14)的一侧固定连接有把手。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述拉杆(6)的一端固定连接有拉头(15)，所述拉头(15)的外表面固定连接有防滑套。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述固定盒(5)的内壁固定连接有限位杆(16)，所述限位杆(16)与限位板(7)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述机组本体(1)的一侧开设有进风口(17)，所述机组本体(1)的另一侧开设有出风口(18)。
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