[实用新型]一种用于PVD设备的水流监测保护装置

说明书

本实用新型公开了一种用于PVD设备的水流监测保护装置，包括安装在PVD设备中每一腔体对应的进水管上的水流量计和安装在PVD设备中机台上的管路安装板，管路安装板上固定有与水流量计一一对应的固定板，水流量计固定在对应的固定板上；水流监测保护装置还包括控制器、总开关、与该些进水管连接的水泵和报警器，该些水流量计均与控制器电连接，水泵通过总开关与控制器电连接，报警器与控制器电连接。本实用新型的用于PVD设备的水流监测保护装置，避免了无水情况导致的火灾，增加机台正常工作时间和效率。

技术领域

本实用新型涉及PVD(物理气相沉积)设备技术领域，特别是涉及一种用于PVD设备的水流监测保护装置。

背景技术

美国应用材料公司(AMAT)的PVD设备的机台靶材水流缺乏监测保护装置，机台靶材内有水作为冷却介质，如果没有监测保护装置，往往会默认一直有水，因此会导致靶材缺水而导致腔体燃烧。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的问题和不足，提供一种新型的用于PVD设备的水流监测保护装置。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种用于PVD设备的水流监测保护装置，其特点在于，其包括安装在PVD设备中每一腔体对应的进水管上的水流量计和安装在PVD设备中机台上的管路安装板，所述管路安装板上固定有与水流量计一一对应的固定板，所述水流量计固定在对应的固定板上；

所述水流监测保护装置还包括控制器、总开关、与该些进水管连接的水泵和报警器，该些水流量计均与控制器电连接，所述水泵通过总开关与控制器电连接，所述报警器与控制器电连接。

较佳地，所述管路安装板采用2mm厚不锈钢拉丝板。

较佳地，所述总开关采用继电器。

在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型的用于PVD设备的水流监测保护装置，避免了无水情况导致的火灾，增加机台正常工作时间和效率。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的用于PVD设备的水流监测保护装置的结构示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的用于PVD设备的水流监测保护装置的控制原理图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和2所示，本实施例提供一种用于PVD设备的水流监测保护装置，其包括安装在PVD设备中每一腔体对应的进水管1上的水流量计2和安装在PVD设备中机台3上的管路安装板4，所述管路安装板4上固定有与水流量计2一一对应的固定板5，所述水流量计2固定在对应的固定板5上。

所述水流监测保护装置还包括控制器6、继电器7、与该些进水管连接的水泵8和报警器9，该些水流量计2均与控制器6电连接，所述水泵8通过继电器7与控制器6电连接，所述报警器9与控制器6电连接。

其中，所述管路安装板4适配机台安装位置，使用2mm厚不锈钢拉丝板，表面避免产生挥发颗粒，避免喷漆。