[实用新型]一种晶圆的磨削非接触式测量结构有效
| 申请号： | 202023272258.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214025232U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 吴东晓 | 申请（专利权）人： | 无锡锐弘精机有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B55/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 张姝 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 接触 测量 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆的磨削非接触式测量结构，包括回转气缸(1)，其特征在于：所述回转气缸(1)的上端设置有轴承座(2)，且轴承座(2)的上端安装有转轴(3)，所述转轴(3)上套接有摆杆(4)，该摆杆(4)的最右端设置有激光测量仪(5)，且所述激光测量仪(5)的下端设置有测量仪保护罩(6)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆的磨削非接触式测量结构，其特征在于：所述回转气缸(1)带动转轴(3)转动。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆的磨削非接触式测量结构，其特征在于：所述摆杆(4)以转轴(3)为轴心沿着转轴(3)作旋转运动。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆的磨削非接触式测量结构，其特征在于：所述测量仪保护罩(6)为倒立的圆锥体结构。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆的磨削非接触式测量结构，其特征在于：所述转轴(3)的横截面为圆形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡锐弘精机有限公司，未经无锡锐弘精机有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202023272258.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超精机超精头的振荡机构
- 下一篇：一种多焊盘倒装发光二极管
