[实用新型]包含光学感应芯片的晶圆级封装结构及移动终端有效
申请号: | 202023275584.3 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN214477482U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 蒋海洋;李永智;苏航;吕军;金科;赖芳奇 | 申请(专利权)人: | 苏州科阳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0232;H01L27/146 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 郭磊 |
地址: | 215143 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包含 光学 感应 芯片 晶圆级 封装 结构 移动 终端 | ||
1.一种包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,包括:玻璃、围堰、晶圆、遮光层、钝化层、种子层、金属线路、阻焊层和锡球;所述围堰设置在所述玻璃上;所述晶圆和带有围堰的所述玻璃压合,其中,所述晶圆设有信号焊垫和感光区;在所述晶圆上设置沟槽,在所述沟槽上方设有硅通孔;所述晶圆表面设置所述遮光层和所述钝化层;在所述信号焊垫上形成激光孔;在所述晶圆表面以及所述硅通孔内壁沉积所述种子层,设置所述金属线路;在所述晶圆表面设置所述阻焊层和所述锡球,其中,所述遮光层、钝化层、种子层、金属线路、阻焊层和锡球依次从下到上分布。
2.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述玻璃的厚度为100~1100um;所述围堰是环状排布的,所述围堰是单圈或者多圈。
3.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述围堰的材料自带粘性。
4.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述晶圆和所述玻璃之间通过键合胶水进行压合。
5.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述晶圆的厚度为50~200um。
6.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述遮光层的材料为金属,所述遮光层分为钛和铜两层;所述钛在所述铜下方。
7.如权利要求6所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述铜的厚度为2~20um,所述钛的厚度为0.1~1um。
8.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述种子层的材料为金属,所述种子层分为钛和铜两层;所述钛在所述铜下方。
9.如权利要求8所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述钛的厚度为0.1~1um,所述铜的厚度为0.5~3um。
10.一种移动终端,其特征在于,所述移动终端包括权利要求1~9任意一项所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的