[实用新型]包含光学感应芯片的晶圆级封装结构及移动终端有效

专利信息
申请号: 202023275584.3 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN214477482U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 蒋海洋;李永智;苏航;吕军;金科;赖芳奇 申请(专利权)人: 苏州科阳半导体有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/0232;H01L27/146
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 郭磊
地址: 215143 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 包含 光学 感应 芯片 晶圆级 封装 结构 移动 终端
【权利要求书】:

1.一种包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,包括:玻璃、围堰、晶圆、遮光层、钝化层、种子层、金属线路、阻焊层和锡球;所述围堰设置在所述玻璃上;所述晶圆和带有围堰的所述玻璃压合,其中,所述晶圆设有信号焊垫和感光区;在所述晶圆上设置沟槽,在所述沟槽上方设有硅通孔;所述晶圆表面设置所述遮光层和所述钝化层;在所述信号焊垫上形成激光孔;在所述晶圆表面以及所述硅通孔内壁沉积所述种子层,设置所述金属线路;在所述晶圆表面设置所述阻焊层和所述锡球,其中,所述遮光层、钝化层、种子层、金属线路、阻焊层和锡球依次从下到上分布。

2.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述玻璃的厚度为100~1100um;所述围堰是环状排布的,所述围堰是单圈或者多圈。

3.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述围堰的材料自带粘性。

4.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述晶圆和所述玻璃之间通过键合胶水进行压合。

5.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述晶圆的厚度为50~200um。

6.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述遮光层的材料为金属,所述遮光层分为钛和铜两层;所述钛在所述铜下方。

7.如权利要求6所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述铜的厚度为2~20um,所述钛的厚度为0.1~1um。

8.如权利要求1所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述种子层的材料为金属,所述种子层分为钛和铜两层;所述钛在所述铜下方。

9.如权利要求8所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构,其特征在于,所述钛的厚度为0.1~1um,所述铜的厚度为0.5~3um。

10.一种移动终端,其特征在于,所述移动终端包括权利要求1~9任意一项所述的包含光学感应芯片的晶圆级封装结构。

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