[实用新型]一种双膜片腔双电磁阀复压阀

说明书

本实用新型公开了一种双膜片腔双电磁阀复压阀，包括壳体、主活门、复位弹簧、左电磁阀、右电磁阀，膜片固定在壳体内形成互相分离的上膜片腔和下膜片腔，左、右电磁阀均为两位两通电磁阀，左电磁阀能够连通大气与下膜片腔或者联通真空系统与下膜片腔；右电磁阀能够联通大气与上膜片腔或者联通真空系统与上膜片腔；上、下膜片腔与主活门连接，用于提供主活门的关闭或开启所需的力；复位弹簧用于主活门复位。该复压阀真空复压率高。

技术领域

本实用新型属于真空复压技术领域，尤其涉及一种双膜片腔双电磁阀复压阀。

背景技术

复压阀是真空复压领域常用的一种阀件，在真空系统需要恢复常压时复压阀打开使真空系统由真空状态恢复至大气压常态，平时处于关闭密封状态。

常见的复压阀结构形式为单膜片腔单电磁阀结构，这种结构的复压阀的真空复压率取决于膜片面积与进口面积的比值(当膜片面积与进口面积的比值为1时，真空复压率不超过50％)，比值越大真空复压率越高，随之阀件的外廓尺寸也会越大，增加了制造成本及难度。

实用新型内容

实用新型目的

为解决上述问题，本实用新型提供了一种双膜片腔双电磁阀复压阀，具有真空复压率高的特点(在上、下膜片面积与进口面积的比值为1时，真空复压率取决于复位弹簧力，所以理论上可以将真空系统复压至大气压力)。

实用新型技术解决方案

一种双膜片腔双电磁阀复压阀，包括壳体、主活门、复位弹簧、左电磁阀、右电磁阀，膜片固定在壳体内形成互相分离的上膜片腔和下膜片腔，左电磁阀、右电磁阀均为两位两通电磁阀且安装在壳体上，左电磁阀能够连通大气与下膜片腔或者联通真空系统与下膜片腔；右电磁阀能够联通大气与上膜片腔或者联通真空系统与上膜片腔；上、下膜片与主活门连接，用于提供主活门的关闭或开启所需的力；复位弹簧用于主活门复位。

优选的，左电磁阀通过二位两通阀连通大气与下膜片腔或者联通真空系统与下膜片腔。

优选的，右电磁阀通过二位两通阀联通大气与上膜片腔或者联通真空系统与上膜片腔。

优选的，壳体具有进口和出口，出口与真空系统连接；当主活门在上膜片腔内力的作用下关闭时，主活门封闭壳体的进口。

优选的，主活门为T字形，小端伸入上膜片腔和下膜片腔内，大端能够封闭壳体的进口。

优选的，复位弹簧设置于主活门大端底面与壳体之间。

以下以膜片感压面积与进口面积比值为1论述。

当断电时，右电磁阀切断与真空系统的连通，而与大气连通，上膜片腔通过右电磁阀与大气连通，提供主活门关闭压力；左电磁阀切断与大气的连通，而与真空系统连通，下膜片腔通过左电磁阀与真空系统连通，不参与压力传递；此时主活门在上膜片的作用下具有利于关闭的运动趋势，因膜片感压面积与进口感压面积相等，最终主活门在复位弹簧的作用下实现密封。

当通电时，右电磁阀切断与大气的连通，而与真空系统连通，上膜片腔通过右电磁阀与真空系统连通，不参与压力的传递；左电磁阀切断与真空系统的连通，而与大气连通，下膜片腔通过左电磁阀与大气连通，提供主活门打开压力；此时主活门在下膜片和进口压力的作用下打开，实现真空复压。

综上，该结构原理的复压阀复压时(主活门打开)，膜片和进口感压面积之合力克服复位弹簧力保证主活门开启，由于复位弹簧力相较于膜片和进口感压面积之合力可忽略不计，故该种结构的复压阀复压率可以达到大气压力。

本实用新型的优点：该复压阀真空复压率高。

附图说明

图1是本实用新型的一种双膜片腔双电磁阀复压阀的结构示意图。

图2是本实用新型的一种双膜片腔双电磁阀复压阀的工作原理图。