[实用新型]液体供应系统消泡装置

说明书

本实用新型提供一种液体供应系统消泡装置及清洗方法，消泡装置悬空设于所述液体槽顶部，包括消泡部件、液泡传感器、进气阀、进液管、进气管、排液管和排气管；原液自进液口装载入所述液体槽，混液叶轮旋转带动所述原液产生液泡，液泡传感器感应所述液泡，并打开进气管，所述进液管吸入所述液泡，所述液泡进入所述消泡装置并消泡，并经所述排液管排入所述液体槽。本实用新型采用物理消泡方式，通过所述消泡部件的消泡叶轮使气液分离，不会产生化学反应，具有良好的制程可控性和可靠性。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种液体供应系统消泡装置。

背景技术

由于目前化学机械研磨(CMP)工艺的多样以及更小线宽的挑战， CMP在研磨液的使用上更为复杂，因工艺不同，在加入不同添加剂的研磨液存在因液体粘度改变或表面张力等原因造成大量气泡产生。大量气泡的进入输送泵进一步造成输送泵工况恶化，产生不必要的损耗，缩短使用寿命，增加维护频率。同时，气泡对液体感应器(sensor) 造成误触发，降低设备的uptime，增加维护成本，此外，气泡进入CMP 主设备会对流量计造成干扰，若进入研磨台面则会使研磨液分布不均匀，影响设备工艺稳定。

现有技术通过加入化学消泡剂改善气泡的问题，但会改变研磨液的化学组成和化学性质，对工艺产生负面影响，如何消除泡沫成为新的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种液体供应系统消泡装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种液体供应系统消泡装置，其特征在于，包括：液体槽，具有进液口和排液口，排液口位于所述液体槽底部，原液自所述进液口装载入所述液体槽；混液装置，设于所述液体槽内，用于搅拌所述原液；消泡装置，悬空设于所述液体槽顶部，包括消泡部件、液泡传感器、进气阀、进液管、进气管、排液管和排气管；所述进气管包括第一进气段和第二进气段，所述第一进气段与所述消泡部件相连，所述进气阀连接所述第一进气段和所述第二进气段，且与所述液泡传感器信号相连，所述第二进气段输入消泡气体，所述进液管的第一端与所述第一进气段相连，所述排气管设置于所述消泡装置顶部；其中，所述进液管的第二端、所述液泡传感器和所述排液管分别自所述液体槽顶部伸入所述液体槽内；所述原液搅拌后产生液泡，所述液泡经所述进液管进入所述消泡装置消泡并分离出液泡气体和液体，所述液体经所述排液管排入所述液体槽，并经所述排液口排出所述液体槽，所述液泡气体经所述排气管排出所述消泡装置。

优选地，所述进气管与所述进液管垂直相连。

优选地，所述进气阀包括电磁阀，所述消泡气体包括压缩空气。

优选地，所述液泡传感器包括电容式传感器；所述液泡传感器与所述液体槽顶部的垂直高度小于所述进液管的第二端与所述液体槽顶部的垂直高度。

优选地，所述混液装置包括混液轴和混液叶轮，所述混液轴自所述液体槽顶部伸入所述液体槽内，所述混液叶轮固定连接所述混液轴的底部，所述混液轴带动所述混液叶轮绕所述混液轴旋转，所述混液叶轮旋转并搅拌所述原液。

优选地，所述消泡部件包括进液道、排气道、排液道、消泡轴、消泡叶轮；消泡轴的顶端转动连接在所述消泡部件的顶部，底端固定连接所述消泡叶轮，所述第一进气段连接所述进液道，所述排气管连接所述排气道，所述排液管连接所述排液道。

优选地，所述进液道的第一端自所述消泡部件一侧的侧壁延伸入所述消泡部件，第二端位于所述消泡叶轮一侧的上方；所述排气道的第一端自所述消泡部件另一侧的顶部延伸入所述消泡部件，第二端位于所述消泡叶轮另一侧的上方；所述排液道位于所述消泡部件底部。

优选地，所述消泡叶轮表面具有超疏水涂层。

优选地，所述消泡叶轮以阿基米德螺旋分布在所述消泡轴的底端；所述消泡叶轮的转速大于或等于3500rpm。