[实用新型]电容式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202023288284.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN213938322U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘雨微;孟珍奎;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/08 |
| 代理公司： | 广东普罗米修律师事务所 44615 | 代理人： | 齐则琳;黄利平 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 | ||
1.一种电容式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对间隔设置的振膜，其特征在于，所述背板面向所述振膜的一面凸设有多个背板凸起和/或所述振膜面向所述基底的一面凸设有多个振膜凸起，所述背板凸起具有贯穿该所述背板凸起的第一孔洞，且所述第一孔洞延伸贯穿所述背板，所述振膜凸起上具有贯穿该所述振膜凸起的第二孔洞，且所述第二孔洞延伸贯穿所述振膜。
2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述背板上设有与所述第一孔洞相通的背板凹槽，所述背板凹槽与所述第一孔洞正对设置，且所述背板凹槽的孔径尺寸大于或等于所述第一孔洞的孔径尺寸。
3.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在：所述振膜上设置有与所述第二孔洞相通的振膜凹槽，所述振膜凹槽与所述第二孔洞正对设置，所述振膜凹槽的孔径尺寸大于或等于所述第二孔洞的孔径尺寸。
4.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述背板凸起和所述振膜凸起为圆柱形、方柱形或其它正多边形形状。
5.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述背板凸起等间距分布于所述背板上。
6.根据权利要求1至5任一项所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜包括设于所述背腔上方的振膜本体以及自所述振膜本体的边缘朝背离所述振膜本体的方向平行延伸形成的悬臂片，所述振膜通过所述悬臂片固定于所述基底上。
7.根据权利要求6所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜凸起设置于所述振膜本体和所述悬臂片的过渡连接位置。
8.根据权利要求6所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述悬臂片设置有四个，所述四个悬臂片分别设于所述振膜本体的四个角落处。
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