[实用新型]一种靶材和背板的扩散接合装置

权利要求书

1.一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述靶材和背板的扩散接合装置包括：排气容器(7)、设置在排气容器(7)内的金属包套(2)、液压装置(6)、以及进气装置(9)和排气装置(10)；

金属包套(2)内由下至上依次设有背板(3)、靶材(4)和压块(5)，所述液压装置(6)的压力作用于所述压块(5)上是的所述背板(3)与靶材(4)结合；

所述进气装置(9)和排气装置(10)可用于所述排气容器(7)的抽真空或在排气容器(7)内充入惰性气体或充入氢气。

2.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述金属包套(2)内部设有加热装置(1)，所述加热装置(1)用于对金属包套(2)达到预热温度，还用于将背板(3)与靶材(4)加热到结合温度。

3.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述靶材(4)材质为铝及铝合金、铜及铜合金、钛、镍及镍合金、钽及钽合金、钨及钨合金，所述背板(3)材质为铝合金、铜及铜合金。

4.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述金属包套(2)由低热膨胀及高强度的不锈钢或者铁质材料构成。

5.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述排气容器(7)底部设有密封圈(8)。

6.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述靶材(4)置于背板(3)上表面中央，所述靶材(4)上表面放置与背板(3)直径相同的压块(5)。

7.如权利要求1所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述压块(5)采用隔热材质。

8.如权利要求2所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，所述预热温度设为300～400℃，所述结合温度设为400～700℃。

9.如权利要求2所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，在预热好的金属包套(2)内依次放入背板(3)、靶材(4)和压块(5)后，通过所述进气装置(9)和排气装置(10)将所述排气容器(7)的抽真空使其内部的压力达到100Pa以下，通过加热装置(1)将背板(3)与靶材(4)加热到结合温度，同时在压块(5)上表面施加3-10kg/mm²的压力，在该温度和压力下保持60分钟，在加压期间继续进行抽真空，使压力达到10Pa以下。

10.如权利要求2所述的一种靶材和背板的扩散接合装置，其特征在于，在预热好的金属包套(2)内依次放入背板(3)、靶材(4)和压块(5)，通过所述进气装置(9)和排气装置(10)将所述排气容器(7)的抽真空使其内部的压力达到1Pa以下，通过进气装置(9)和排气装置(10)充入惰性气体或氢气，并使其内部的压力维持在10Pa，通过加热装置(1)将背板(3)与靶材(4)加热到结合温度，同时在压块(5)上表面施加3-10kg/mm²的压力，在该温度和压力下保持60分钟，在加压期间继续充入惰性气体或氢气，使压力维持在10Pa。