[实用新型]一种用于待测产品的定位和抬升治具有效
申请号: | 202023290551.6 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214226872U | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 袁伟琼;赵炳军 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;H01L21/68 |
代理公司: | 上海得民颂知识产权代理有限公司 31379 | 代理人: | 张素华 |
地址: | 201799 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 产品 定位 抬升 | ||
本实用新型实施例公开了一种用于待测产品的定位和抬升治具。本实用新型的用于待测产品的定位和抬升治具,包括:定位板;所述定位板上设有抬升长条孔和铁环定位孔,所述铁环定位孔与所述抬升长条孔的中心相重叠,且所述抬升长条孔为通孔,所述铁环定位孔为盲孔。本实用新型的用于待测产品的定位和抬升治具,一方面整合了治具,降低了治具管理负担,另一方面使产品的取放更加便捷、稳妥,方便用户操作。
技术领域
本实用新型实施例涉及半导体制造领域,尤其涉及一种用于待测产品的定位和抬升治具。
背景技术
在半导体封装过程中,中间存在多个工序,每个工序之间,都需要产品来回多次转运,以便进行切割、研磨等必不可少的工序,这些工序后面往往跟着检测或测量工序。而目前进行检测或测量工序时,待测产品在移动时,多放置于本领域常用的工装铁环或者Tray盘上,但这两种盛放工具都比较薄,放在平面上测量,拿取非常不便,甚至会造成摔料、使产品损坏。同时,由于铁环和Tray盘多在同一个测量设备上使用,铁环和Tray盘的治具互相独立,造成治具数量很多,不宜管理。
发明内容
本实用新型实施例提供一种用于待测产品的定位和抬升治具,针对上述问题,一方面整合了治具,降低了治具管理负担,另一方面使产品的取放更加便捷、稳妥,方便用户操作。
本实用新型实施例提供一种用于待测产品的定位和抬升治具,包括:定位板;
所述定位板上设有抬升长条孔和铁环定位孔,所述铁环定位孔与所述抬升长条孔的中心相重叠,且所述抬升长条孔为通孔,所述铁环定位孔为盲孔。
采用该技术方案,一方面,可以提高取放的便捷性,进而提高效率,另一方面,通过采用抬升长条孔和铁环定位孔相重叠的设计,可以起到一个治具、多个用途的效果,减少治具数量,同时便于管理。
在一种可行的方案中,还包括:抬升曲柄;
所述抬升长条孔的两侧对称设有第一安装台阶,所述抬升曲柄可转动地设置在所述第一安装台阶处,所述抬升曲柄用于抬升所述抬升长条孔和所述铁环定位孔内的器具。
采用该技术方案,通过设置抬升曲柄,可以在插入手指或取放治具之前,进行些许的抬升,以提高插入的空间,方便插入。
在一种可行的方案中,还包括:驱动装置;
所述驱动装置设置在所述第一安装台阶处,所述驱动装置与所述抬升曲柄相邻近,所述驱动装置用于驱动所述抬升曲柄进行转动。
采用该技术方案,是为了方便地控制抬升曲柄的抬升和放下,以节省用户的操作复杂程度,同时提高取放效率。
在一种可行的方案中,所述驱动装置为磁性线圈,所述磁性线圈用于产生磁场;
所述抬升曲柄与所述磁性线圈相配合的部位由磁性材料制成。
采用该技术方案,是利用了磁场力来提供抬升和放下的动力,一个是技术成熟,另一个是不会产生过多的噪声。
在一种可行的方案中,还包括:抬升感应器和控制器;
所述抬升感应器设置在所述抬升长条孔的两端内部,所述抬升感应器与所述控制器电性连接,所述控制器与所述磁性线圈电性连接。
采用该技术方案,是为了实现自动控制磁性线圈的磁场产生,以方便用户操作。
在一种可行的方案中,所述抬升感应器为光学感应器。
采用该技术方案,可以方便用户进行取放操作,提高用户取放过程中的效率。
在一种可行的方案中,所述抬升感应器为电容感应器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造