[实用新型]一种用于高压带液环境的气压取样设备

说明书

本实用新型提供一种用于高压带液环境的气压取样设备，用于ECS装置内部的高压带液环境中，避免积水造成堵塞而影响ECS设备调控的情况发生；包括气液分离装置，安装板，气管安装接头，控制系统；所述气液分离装置固定安装在所述安装板2的正下侧；所述气管安装接头固定设置在所述安装板的正上侧；所述控制系统与所述气管安装接头固定连接；所述控制系统包括主控端，压力调节装置及高精度压力传感器；所述主控端分别与压力调节装置及高精度压力传感器连接；所述气液分离装置上设置有上取样口；所述上取样口与所述气管安装接头配合；本实用新型的有益效果：改善了积水堵塞倒是ECS设备异常的情况，减小了检测气压的误差，保证了ECS设备的压力稳定。

技术领域

本实用新型主要涉及取样器技术领域，尤其涉及一种用于高压带液环境的气压取样设备。

背景技术

ECS设备内部取样环境为潮湿带液气体，气压环境相对标准大气压(-800Pa～-2000Pa)可调控。ECS需根据检测气压值精确调控(±10Pa)以保证半导体工艺设备腔室压力，带液环境下普通压力采集装置会因为积水导致堵塞，ECS设备调控异常。

已公开中国实用新型专利，申请号CN201921883546.0，专利名称：一种计量式气压取样器，申请日：20191104，本实用新型涉及一种计量式气压取样器，包括取样罐，取样罐上设置有密封顶盖，密封顶盖左端设置有一根提取管道，提取管道贯穿密封顶盖，提取管道上端通过三通阀连接有采样罐，采样罐上设置有刻度标识，三通阀连接有卸料管道，密封顶盖上设置有活塞管，活塞管内部设置有气压活塞，气压活塞上端连接有气压活塞杆，活塞管左端设置有滚珠丝杠，滚珠丝杠上设置有滚珠丝杠轴承，滚珠丝杠轴承右端通过连接块与气压活塞杆相连接，滚珠丝杠上端连接有步进电机，通过气压的方式来将取样罐内部的液体取出，利用步进电机与滚珠丝杠的组合使用，可以快速进行取样操作，且方便控制活塞下压的位置，从而可以实现计量取样操作。

为解决上述问题，需要一种不会导致积水堵塞的压力采集装置。

实用新型内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种用于高压带液环境的气压取样装置，用于ECS装置内部的高压带液环境中，避免积水造成堵塞而影响ECS设备调控的情况发生。

本实用新型提供一种用于高压带液环境的气压取样设备，包括气液分离装置1，安装板2，气管安装接头3，控制系统4；

所述气液分离装置1固定安装在所述安装板2的正下侧；所述气管安装接头3固定设置在所述安装板2的正上侧；所述控制系统4与所述气管安装接头3固定连接；

所述控制系统4包括主控端，压力调节装置及高精度压力传感器43；所述主控端分别与压力调节装置及高精度压力传感器43连接；

所述气液分离装置1上设置有上取样口；所述上取样口与所述气管安装接头3配合。

优选的，所述气液分离装置1还设置有下取样口；所述下取样口与所述上取样口上下对应设置。

优选的，所述主控端为PLC控制41。

优选的，所述压力调节装置包括与PLC控制41固定连接的压缩空气控制阀站42。

优选的，所述压力调节装置还包括受PLC控制41控制的泄压阀44。

优选的，所述压力调节装置还包括受PLC控制41控制的调压阀45。

优选的，所述泄压阀44与调压阀45均设置在气路管道上。

本实用新型的有益效果：改善了积水堵塞倒是ECS设备异常的情况，减小了检测气压的误差，保证了ECS设备的压力稳定。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图中，