[实用新型]一种拼接型陶瓷靶材有效

专利信息
申请号: 202023303456.5 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN214458284U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 周其刚;李宪民;侯金明 申请(专利权)人: 南京欧美达应用材料科技有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 211102 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 拼接 陶瓷
【权利要求书】:

1.一种拼接型陶瓷靶材,其特征在于,包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片,两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边;

两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置,另一陶瓷靶材片的拼接边向上设置在向下设置的拼接边的下方,从而使所述两个相邻的陶瓷靶材片贴合在一起;所述拼接边包括第一拼接边,所述第一拼接边的形状为中心对称的倒S形,所述第一拼接边上设有相适应的凹槽和凸起。

2.根据权利要求1所述的拼接型陶瓷靶材,其特征在于,所述拼接边还包括第二拼接边,所述第二拼接边的形状为斜边。

3.根据权利要求2所述的拼接型陶瓷靶材,其特征在于,向上设置的拼接边上设有一限位凸楞,所述向下设置的拼接边上开设有一横向的与所述限位凸楞相匹配的限位槽。

4.根据权利要求2所述的拼接型陶瓷靶材,其特征在于,所述陶瓷靶材片至少包括通过所述拼接边拼接为一整块的第一陶瓷靶材片、第二陶瓷靶材片、第三陶瓷靶材片、第四陶瓷靶材片、第五陶瓷靶材片和第六陶瓷靶材片;所述陶瓷靶材片均为矩形,且两个相邻的陶瓷靶材片之间设有所述第一拼接边或所述第二拼接边。

5.根据权利要求4所述的拼接型陶瓷靶材,其特征在于,所述第一陶瓷靶材片分别和第二陶瓷靶材片与第五陶瓷靶材片通过拼接边相拼接;所述第二陶瓷靶材片分别和第一陶瓷靶材片与第六陶瓷靶材片通过拼接边相拼接;所述第三陶瓷靶材片分别和第四陶瓷靶材片与第五陶瓷靶材片通过拼接边相拼接;所述第四陶瓷靶材片分别和第三陶瓷靶材片与第六陶瓷靶材片通过拼接边相拼接;所述第五陶瓷靶材片与所述第六陶瓷靶材片通过拼接边相拼接,且第五陶瓷靶材片与所述第六陶瓷靶材片均在两边设有拼接边。

6.根据权利要求1或2所述的拼接型陶瓷靶材,其特征在于,两个所述拼接边拼接后的陶瓷靶材上表面齐平。

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