[实用新型]一种新型蒸镀机

权利要求书

1.一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体(1)、加热灯结构(4)、镀锅(7)、控制机构(17)、水冷隔热机构(8)、坩埚(11)、离子源(12)和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体(1)内部分为第一中空腔体(2)和第二中空腔(3)，加热灯结构(4)、镀锅(7)、水冷隔热机构(8)、坩埚(11)、离子源(12)和驱动机构均设置于蒸镀机本体(1)的第一中空腔体(2)内，控制机构(17)位于蒸镀机本体(1)的第二中空腔(3)内，第一中空腔体(2)和第二中空腔(3)相邻，驱动机构包括：马达(15)、抽真空泵组(16)、旋转气缸(29)，所述驱动机构与控制机构(17)电性连接，所述第一中空腔体(2)的顶部设有镀锅(7)，所述镀锅(7)的顶端连接马达(15)，所述镀锅(7)下部设有加热灯结构(4)、坩埚(11)和离子源(12)，所述加热灯结构(4)、坩埚(11)和离子源(12)固定在第一中空腔体(2)的底板上，所述第一中空腔体(2)的一侧面设有主阀腔(18)，主阀腔(18)与第一中空腔体(2)连通，所述主阀腔(18)上设有水冷隔热机构(8)，主阀腔(18)的下部设有与主阀腔(18)通过真空管连通的抽真空泵组(16)，抽真空泵组(16)位于蒸镀机本体(1)外部的支架上，所述第一中空腔体(2)的与主阀腔(18)相对面设有腔门(19)，腔门(19)与第一中空腔体(2)铰接，腔门(19)前端设有视窗结构(20)。

2.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：第一中空腔体(2)底板的上部设有防着(21)，防着(21)与底板设有间隙，防着(21)上设有坩埚(11)孔和遮板(23)装置孔，所述坩埚(11)位于间隙处且坩埚(11)的开口于坩埚(11)孔套接，坩埚(11)的开口上方设有遮板(23)，所述遮板(23)与坩埚(11)的开口设有间隙，所述遮板(23)旁设有遮条(24)，遮条(24)固定安装在防着(21)上，通过旋转气缸(29)带动遮板(23)旋转，遮板(23)的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板(23)移至坩埚(11)上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板(23)。

3.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：防着(21)与底板之间设有多根立柱(25)，立柱(25)作为防着(21)与底板的支撑，用来保护底板上设有的部件，坩埚(11)孔与坩埚(11)的开口位于同一水平面上。

4.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：镀锅(7)为公转镀锅或者行星转镀锅的一种。

5.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：当镀锅(7)为公转镀锅，修正机构包括两个修正板(26)和支杆(27)，所述支杆(27)位于公转镀锅和坩埚(11)之间，所述支杆(27)平行于所述公转镀锅，两个修正板(26)可拆卸的连接在支杆(27)的上端且两个修正板(26)关于所述公转镀锅(7)的轴线对称，所述修正板(26)为柳叶形薄板，所述两个修正板(26)间隔平行设置，两个修正板(26)的上表面与镀锅(7)平行，两个修正板(26)的下表面与蒸发源平行。

6.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：视窗结构(20)从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴(22)，回转轴(22)与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴(22)同步旋转，安装板上设置有观察孔。

7.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：加热灯结构(4)包括：固定杆(5)和加热灯(6)，加热灯(6)通过调节件连接在固定杆(5)的一端，固定杆(5)的另一端连接加热灯(6)变压器，加热灯(6)变压器与第一中空腔体(2)的底板固定。

8.如权利要求1所述的新型蒸镀机，其特征在于：所述离子源(12)安装在离子源安装架上，所述离子源安装架位于蒸镀机本体(1)底板上部，离子源安装架包括第一支架(13)和第二支架(14)，第一支架(13)和第二支架(14)通过螺母或者螺栓连接，第一支架(13)和第二支架(14)角度可调节。